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3-15 3 8 エ ア ブ ロ ー し て 余 分 な 油 分 を 吹 き 飛 ば し ま す 。 S t e p 5 と 同 じ よ う に 、 エ ア ジ ョ イ ン ト 部 に エ ア ガ ン を 差 し 込 ん で ス プ ラ イ ン シ ャ フ ト を エ ア ブ ロ ー し て く だ さ い 。 エ ア ブ ロ ー の 際 に は ヘ ッ ド 先 端 を ウ エ ス で 押 さ え て く だ さ い 。 9 油 分 の…
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2.毎月または隔月
ここでは点検後の清掃および給油を中心に行います。
2.1 ノズルホルダーの清掃・給油
ノズルホルダー部のバフィング（スプリング動作）状態が悪いと、吸着、認識、搭載すべてに影響します。定
期的（隔月）に IPA またはエタノールなど ( 以後アルコールと呼ぶ ) で洗浄し、タービン油を給油して動きがス
ムーズであることを確認してください。
e
1
非常停止ボタンを押します。
作業を安全に行うために、必ずマシンを非常停止
状態にしてください。
2
ノズルを外し、ヘッドを下降させます。
清掃するヘッドからノズルを外し、[ 装置 ] ー「ヘッ
ド」タブ画面の [ ヘッド ] ボタンを押して、ヘッ
ドを下降させてください。
3
ノズルホルダーをアルコールに浸して
洗浄します。
1. ヘッドの下にウェスなどを敷きます。
2. 直径 10mm 程の容器を用意し、IPA を八分目
ほど入れます。
3. IPA を入れた容器をノズルホルダーに近づけ、
ノズルホルダー全体を IPA に数秒ほど浸しま
す。
4. IPA 容器を取り除いて、ノズルホルダーを指
で数回上下させます。
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4
再度、アルコールに浸して洗浄します。
バフィング動作がスムーズになるまで、Step3、
4 を繰り返してください。
5
エアブローで異物を吹き飛ばします。
エアジョイント部にエアガンを差し込んでエアブ
ローしてください。エアブローの際にはヘッド先
端をウエスで押さえてください。
6
バフィング部に給油をし、動作を確認
します。
ノズルホルダー部給油用シリンジでバフィング部
にタービン油を塗り、手で数回上下させてバフィ
ング状態がスムーズであることを確認してくださ
い。
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7
余分な油分を拭き取ります。
ホコリのでないウエスを使って余分な油分を拭き
取ってください。
ノズルホルダーの洗浄
Step 3
アルコールが入った容器
ノズルホルダー部の給油
Step 6
ここに給油する
ノズルホルダー部
給油用シリンジ
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8
エアブローして余分な油分を吹き飛ば
します。
Step5 と同じように、エアジョイント部にエアガ
ンを差し込んでスプラインシャフトをエアブロー
してください。エアブローの際にはヘッド先端を
ウエスで押さえてください。
9
油分の除去状態を確認します。
任意で市販の油取り紙などを使用してエアーブ
ローを行い、ノズルホルダー内の残留油分の状態
を確認してください。
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n
要点
通常、Step8の作業を行えば油分は除去されるはずです。残っ
ている場合はもう一度エアブローしてください。
0
ノズルを元に戻します。
ノズルに油分が残っていないかもう一度確認して
からヘッドに戻してください。
残留油分の確認
Step 9
初回ブローを先端から5秒程度行う
と油分が出ます。
先端から5秒、取り付け側から
5秒程度のブローを繰り返します。
最終的に油分が出なければ終了です。
油取り紙
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2.2 X,Y,W 軸の清掃・給油
X、Y、W 軸のボールスクリューやリニアガイドの清掃と給油方法について説明します。グリスガンと指定グリ
ス（NSL）を用意してください。
c
注意
グリスの使用に関しては、第 1 章「2.2.2給油ツール・グリス」の取り扱いに関する注意事項をお読みください。
2.2.1 X,Y,W 軸ボールスクリューの清掃・給油
e
1
非常停止ボタンを押します。
作業を安全に行うために、必ずマシンを非常停止
状態にしてください。
2
ボールスクリュー部を清掃します。
1. 移動ハンドルを持って各軸を片端に移動させ
ます。
2. ボールスクリュー全体をゴミが発生しない
ペーパーウエス（クリーンルーム用）などで
古いグリスや汚れを拭き取ります。
3. 軸を反対側に移動させて、反対側のボールス
クリューも拭きます。
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c
注意
清掃作業ではボールスクリューのリード溝部も丁寧に拭い
てください。また、ゴミが発生していないことを確認して
ください。
3
グリスを塗布します。
1. X 軸、Y 軸
グリスガンを用意し、グリスニップルから指
定のグリス (NSL) を注入してください。
2. W 軸
手に指定のグリス (NSL) を付けてボールスク
リューの表面およびリード溝部に均一に塗っ
てください。
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ボールスクリューのグリスアップ
Step 3
X軸グリスニップル
Y軸ボールスクリュー スライダー グリスガン
ボールスクリューの清掃
Step 2
ペーパーウエスなどで拭く