SP60P-L Mechanical.pdf - 第119页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 16 基 板吸着 配管ユニット Bo ard Vac uum U ( La rge- Siz ed Vacu um Pump ) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 KXFX03ASA00 Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section…
16
基
板吸着
配管ユニット
Board Vacuum U (Large-Sized Vacuum Pump)
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03ASA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M93
( KKXFX03ASA00-02 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
16
基
板吸着
配管ユニット
Board Vacuum U (Large-Sized Vacuum Pump)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03ASA00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
2
1 KXFB00JJA01
PLATE
1
2 KXFB04MJB01
BRACKET
1
3 KXFB0056A00
JOINT
1
4 KXF0DWUYA00 KQH12-00
VALVE
1
5 KXF0DY3EA00 VT317V-5GS-02
JOINT
1
6 KXF0CS3AA00 KQZD08-02S
JOINT
1
7 KXF05HMAA00 KQL12-99
SILENCER
1
8 KXF00WEAA00 AN203-02
JOINT
1
9 KXF02CPAA00 KQLE12-00
PLUG
3
10 KXF02CSAA00 KQP-08
JOINT
1
11 KXF0E036A00 KQL04-08
JOINT
1
12 KXF02BTAA00 KQL04-M5
SENSOR
1
13 KXF0DWV0A00 E8F2-AN0C
JOINT
1
14 KXF02BFAA00 KQH12-02S
M94
--
( KKXFX03ASA00-02 )
17
ブロアーユニット
Blower Unit
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610002623AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
M95
( KN610002623AA-02 )