雅马哈3D-AOI技术介绍汇总.pdf - 第27页
SEPL W14500 -00 V1.00 27 SI1409 004E-000 0 400 项目 值 降 噪滤镜 中 典 高度值 上限 0.400 弟盲癌 破险查 切 提 取大角 上限面 90.0 提 取角度 下限 (度) 26.7 提 取方向 (度) 359.0 角 度公差 CS) 90.3 黑 青体积 * I 启用 I 照 明设定 I 检 出条件 I F k I I II 判 定条件 正常 锡膏的 2D 图像和 3D 锡膏爬 坡图…

SEPLW14500-00 V1.00
26
SI1409004E-000
◼
卬
33
真正的
3D
算法
攀
YAMAHA
3D
检查锡
膏厚度
简单
的操作
-
通过
[
]
运算,
在平
面或者
3D
的立体
实物图
形上轻
松的提
取锡膏
-
根据
抽样的
选点,
自
动定义
提取锡
膏的高
度范围
-
在基
板本身
平面的
上方,
执
行提取
操作,
完
全不受
基板颜
色变化
的干扰
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SEPLW14500-00 V1.00
27
SI1409004E-000
0
400
项目
值
降
噪滤镜
中
典
高度值
上限
0.400
弟盲癌
破险查
切
提
取大角
上限面
90.0
提
取角度
下限
(度)
26.7
提
取方向
(度)
359.0
角
度公差
CS)
90.3
黑
青体积
*
I
启用
I
照
明设定
I
检
出条件
I
F
k
I I
II
判
定条件
正常
锡膏的
2D
图像和
3D
锡膏爬
坡图像
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少
锡时的
2D
图像和
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锡膏爬
坡图像
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3D
检查锡
膏坡度
和体积
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C333
对于镜
面反光
的晶圆
级
csp
的检查
对于难
于进行
3D
检查
的镜面
元件,
开
发了新
功能,
通
过延长
曝光时
间实现
3D
检查
正
常参数
光
线在镜
面上会
反光,
3D
形状无
法还原
WLCSP
参数
在镜
面元件
(如
WLCSP)
的
视野内
改变成
像参数
来提高
还原性