雅马哈3D-AOI技术介绍汇总.pdf - 第29页
◼ 通过 3D 检查脚翘 ◼ 通过 3D 检查 极性标记 真正的 3D 算法 通过 3D 高度检 查脚翘 通过 3D 高度差 检查极 性标记 <YAMAHA Confidential YAMAHA MOTOR CO.. LTD. /r s a// about the customer. Copyright © YAMAHA MOTOR CO.. LTD. All right reserved.
C333
对于镜
面反光
的晶圆
级
csp
的检查
对于难
于进行
3D
检查
的镜面
元件,
开
发了新
功能,
通
过延长
曝光时
间实现
3D
检查
正
常参数
光
线在镜
面上会
反光,
3D
形状无
法还原
WLCSP
参数
在镜
面元件
（如
WLCSP）
的
视野内
改变成
像参数
来提高
还原性
◼
通过
3D
检查脚翘
◼
通过
3D
检查极性标记
真正的
3D
算法
通过
3D
高度检
查脚翘
通过
3D
高度差
检查极
性标记
<YAMAHA
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