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- 8 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 401-37055 VACUUM PUMP UNIT 真空ポンプ組 1 2 400-99548 VACUUM PUMP 真空ポンプ (1) 3 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW ダブルブランチユニバー サルエルボ (1) 4 PX-9500070-00 PLUG プラグ…
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4. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(1)
ベースフレーム電装関係（１）
12
13
7
8
4
5
2
3
6
9
10
11
14
15
17
18 20
21
22
23
1
16
24
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-37055 VACUUM PUMP UNIT
真空ポンプ組
1
2 400-99548 VACUUM PUMP
真空ポンプ
(1)
3 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
(1)
4 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
(1)
5 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
(1)
6 400-99550 VAC_PUMP_PLATE
真空ポンププレート
(1)
7 SM-1051052-TN PLATE SCREW M5 L=10
皿ねじ Ｍ５ Ｌ＝１０
(4)
8 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ （樹脂製）
(1)
9 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
(1)
10 CM-3003000-02 HIGH TEMPARATURE CAUTION LABEL 2 (25)
高温注意シール２（２５）
(1)
11 400-99549 VAC_PUMP_BASE
真空ポンプベース
(1)
12 SL-6040892-TN SCREW M4 L=8
座金付き六角穴ボルト Ｍ４ Ｌ＝８
(4)
13 SL-6040892-TN SCREW M4 L=8
座金付き六角穴ボルト Ｍ４ Ｌ＝８
(1)
14 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
15 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(4)
16 401-37039 BRAKER_BR_ASSY
ブレーカーブラケット組
1
17 401-36744 BRAKER_BRACKET
ブレーカーブラケット
(1)
18 HA-0063400-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
19 HA-0063400-0B CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
20 HA-0063400-10 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
21 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ４ Ｌ＝８
(4)
22 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(1)
23 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(1)
24 400-99554 VACUUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT
真空ポンプメンテナンスキット
1
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5. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(2)
ベースフレーム電装関係（２）
４３ ４４
３６
４２
３
３
４
４
１１ １２
９
１０
１３
１３
１４
１７
１７
１８
１９
２０
２２
２３
５
２４ ２６
２７ ２９
３０ ３２
２７
２９
３３ ３５
４５
５３
５４
９６
５
５
５
５
５
５
２１
１７
５
１６
１５
５６
Ａ
１ ２
９１
８１
８７
７９
８０
７６
７８
７３
７５
９２
９０
８８
９３
８９
９４
９４
７２
９５
Ａ
５５
６ ７
６ ７
６ ７
８
８
６ ７
６ ７
６ ７
５
５７ ５８
５
６０ ６１
５９
９７
６４ ６５
６４
６５
６４ ６５
６３
７０
６７
６８
６９
Ｂ
Ｂ
７１
６２
６４ ６５
６６
５
Ｍ／Ｃ Ｒｅｖ．Ｌ