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H04-NEPTA-NOZZLE STATION(for TRAY UNIT-LT, with COPLANARITY SENSOR) H04-NEPTA- ノズルステーション(トレイユニット-LT用、コプラナリティセンサ有) UL04601 No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個 数 品名 規格 材…
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H04-NEPTA-NOZZLE STATION(for TRAY UNIT-LT, with COPLANARITY SENSOR)
H04-NEPTA-ノズルステーション(トレイユニット-LT用、コプラナリティセンサ有) UL04601
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 AA5FZ03 1 HOLDER ホルダ OT
2 PS00772 1 SHEET シート OT Consumable Parts
3 PX07231 1 SEAL, BAR CODE シール バーコード OT unit serial number
4 PX07221 1 SEAL, BAR CODE シール バーコード OT unit serial number
5 AA5FY02 1 GUIDE ガイド OT
6 H5289A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M04X012 AL
7 W1011A 2 WASHER, CONICAL ワッシャ 皿 M- 4-L OT
8 AA96706 1 BLOCK ブロック OT
9 H5276A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X010 FE
10 W1010A 2 WASHER, CONICAL ワッシャ 皿 M- 3-L FE
11 PZ29951 8 BOLT ボルト OT
12 PM85634 8 WASHER ワッシャ FE
13 PB85071 1 SHUTTER シャッタ FE
14 PM04923 1 PIN ピン FE
15 PZ05022 1 SPRING, TENSION ス
プ
リン
グ
引張 FE
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