03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA.pdf - 第54页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 54 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 2.7.4.2 Austauschen 1. Legen Sie die ausgewechselte Substratklemme Folienmontage in Position auf der oberen Platte…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 53
2.7.4 Substratklemme Folienaustausch
WARNUNG
LEITERPLATTENKLEMMEN. UM VERLETZUNGEN ZU VERMEIDEN MUSS BEI
ARBEITEN IM KLEMMBEREICH DER MASCHINE AUF BESONDERE
VORSICHT GEACHTET WERDEN. DIE MESSERLEISTEN AN DEN VORDEREN
UND HINTEREN KLEMMEN SIND EXTREM SCHARF.
2.7.4.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Mit Hilfe eines 2,5 mm Innensechskantschlüssels, entfernen Sie die Substratklemme Foliensi-
cherungsschrauben (1) (in sechs Positionen) und entfernen Sie die Substratklemme Folien-
montage (2).
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Rückansicht des APC-Moduls
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
54 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.4.2 Austauschen
1. Legen Sie die ausgewechselte Substratklemme Folienmontage in Position auf der oberen
Platte, befestigen Sie es am APC-Modul mit HIlfe der sechs ausgestauschten Sicherungs-
schrauben, welche mit der ausgetauschten Substratklemmenfolie mitgeliefert werden.
Rückansicht des APC-Moduls
2. Prüfen Sie, dass die Folienmontage vollständig in der Ausgangsposition auf der oberen Platte
befestigt ist:
– Achten Sie darauf, dass die Enden der Folienmontage (1) bündig abschließen mit den
Enden der oberen Platte (2).
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Ansicht der Enden der oberen Platte und der Folienmontage
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 55
– Prüfen Sie, dass eine 0,05 mm Fühlerlehre (1) nicht zwischen die Folienbaugruppe und
die obere Platte passt. Führen Sie eine Überprüfung dieser an mehreren Orten entlang der
Länge und der Enden durch.
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2.7.5 Austausch der oberen Platte
2.7.5.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch" beschrie-
ben.
3. Benutzen Sie ein sehr spitzes Werkzeug, um jede Staubkappe (3) (in 8 Positionen) in der
Mitte zu durchstechen und schieben Sie sie aus der oberen Platte heraus. Entsorgen Sie die
Staubkappen, nachdem sie entfernt wurden.
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4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (2)
(in 8 Positionen) von der oberen Platte.
5. Entfernen Sie die obere Platte (1).