03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA.pdf - 第70页

2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN 70 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 13. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, setzen Sie die Zylinderschrauben (2) (in 2 Positionen) wieder…

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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN

EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 69

11. Benutzen Sie das Trennschalterventil (1), um die Luftzufuhr wieder an die APC-Module anzu-

schließen.

Sitz des APC Pneumatikverteilers

12. Achten Sie darauf, dass die Zimmer-Klemmen (1) (in 2 Positionen) energisiert worden sind.

Die mittlere Platte Baugruppe (2) sollte sich nicht heben können, wenn ein manueller Einbau

vorgenommen wird.

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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN

70 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019

13. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, setzen Sie die Zylinderschrauben (2) (in

2 Positionen) wieder ein und die Ausgleichsscheiben (1) (in 2 Positionen), welche an der mitt-

leren Platte des Wellenführungaufbaus befestigt werden.

14. Benutzen Sie das Trennschalterventil, um die Luftzufuhr zu den APC-Modulen zu trennen.

Trennen Sie den stromaufwärts gelegenen Schlauch vom Trennschalter, damit sich jeglicher

Restdruck im System entlüften kann. Schließen Sie den stromaufwärts gelegenen Schlauch

wieder an.

15. Gewährleisten Sie, das die mittlere Platte Baugruppe freie Bewegung hat. Heben Sie die Bau-

gruppe an und lassen Sie sie fallen, prüfen Sie dabei, dass sie unter ihrem eigenen Gewicht

wieder zurück in ihre Ausgangsposition fällt.

16. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.

17. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-

schen" beschrieben.

18. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden

2.7.10 Mittlere Platte Pneumatikzylinder Austausch

Es gibt zwei mittlere Platte Pneumatikzylinder pro APC-Modul, falls ein Austausch erforderlich ist,

dann müssen beide Zylinder in einem Modul als ein Paar ausgetauscht werden.

2.7.10.1 Entfernen Sie

1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.

2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"

beschrieben.

3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.

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4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)

(in 4 Positionen) vom ersten Führungsschlitten. Lassen Sie die Pneumatik Rohrbogen (2) (in

2 Positionen) am Führungsschlitten (1) und (3) befestigt.

5. Bewegen Sie den Führungsschlitten von dessen Halterung und lassen Sie ihn über der Hin-

terseite des Moduls hängen, das Gewicht wird durch die immer noch befestigten, pneumati-

schen Anschlüsse gestützt.

6. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 5 für den anderen Führungsschlitten.

7. Benutzen Sie einen 5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie Buchsenkopfschrauben

(2) (in 2 Positionen) und Ausgleichscheiben (1) (in 2 Positionen) von der mittleren Platte.