03229208-01-01 All Purpose Clamping (APC) Manual DEPDFA.pdf - 第61页
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC) 2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 61 2.7.7.2 Austauschen 1. Drücken Sie die Lager (1) und (2) in die Snug-Leiste ein. 1 2 3 2. Installieren Sie die Fed…
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
60 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
2.7.7 Austausch der hinteren Snug-Leiste
2.7.7.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Ansatzschraube (4)
von der Snug-Leiste (1).
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3
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5. Entfernen Sie die Lager (2) und (3). Entfernen Sie die Snug-Leiste.
HINWEIS
Achten Sie beim Entfernen der Snug-Leiste darauf, dass die 2 Federn, die an der Hinterseite
der Snug-Leiste montiert sind, entfernt wurden. Achten Sie darauf, dass die Federn nicht hin-
ter der Innenseite der mittleren Platte vergessen und zurückgelassen werden.
2 UNIVERSALKLEMMEN (APC)
2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019 61
2.7.7.2 Austauschen
1. Drücken Sie die Lager (1) und (2) in die Snug-Leiste ein.
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2
3
2. Installieren Sie die Federn (2) (in 2 Positionen) in die Taschen, die sich an der Hinterseite der
Snug-Leiste befinden.
3. Senken Sie die Snug-Leiste in Position, drücken Sie die Federn (1) vorsichtig zusammen,
damit sie sich, wenn sie freigegeben werden, gegen die Aufkantung der mittleren Platte (2)
ausweiten können.
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Teilansicht des hinteren APC-Moduls (Snug-Leiste ist undurchsichtig für eine verbesserte
Darstellung)
4. Tragen Sie eine Gewindesicherung Verbindung auf die Ansatzschraube auf. Installieren Sie
und ziehen Sie die Ansatzschraube fest, um die Snug-Leiste an der mittleren Platte zu befes-
tigen.
5. Gewährleisten Sie, dass die Snug-Leiste sich um ihren Mittelpunkt drehen kann.
6. Installieren Sie die obere Platte wie in "Obere Platte Austausch: austauschen" beschrieben.
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2.7 AUSTAUSCHVERFAHREN
62 EIGENSTÄNDIGES HANDBUCH UNIVERSALKLEMMEN (APC) 12/2019
7. Installieren Sie die Substratklemmenfolie wie in "Substratklemme Folienaustausch: austau-
schen" beschrieben.
8. Vorgang nach dem Austauschverfahren beenden
2.7.8 Schiebeantrieb Austausch
Pro APC-Modul gibt es zwei Schiebeantriebe. Wenn ein Austausch erforderlich ist, dann müssen
beide Aktoren in einem Modul als ein Paar ersetzt werden.
2.7.8.1 Entfernen Sie
1. Achten Sie darauf, dass der Vorgang "Vorbereitung für den Austausch" beendet wurde.
2. Entfernen Sie die Substratklemmenfolie, wie in "Substratklemme Folienaustausch: entfernen"
beschrieben.
3. Entfernen Sie die obere Platte wie in "Obere Platte austauschen: entfernen" beschrieben.
4. Benutzen Sie einen 2,5 mm Innensechskantschlüssel, entfernen Sie die Kopfschrauben (4)
(in 4 Positionen) vom ersten Führungsschlitten (1) und (3).
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5. Entfernen Sie teilweise den Führungsschlitten, um Zugang zu den Pneumatik Rohrbogen (2)
zu erhalten.
6. Notieren Sie sich die Ausrichtung der Rohrbogen, um bei der Reinstallation des neuen Füh-
rungsschlittens zu helfen.
7. Benutzen Sie einen kleinen Schlitzschraubendreher, entfernen Sie the Pneumatik Rohrbogen.
8. Entfernen Sie the Führungsschlitten.
9. Wiederholen Sie die Schritte 4 bis 8 für den anderen Führungsschlitten.