FUJI CP7 Series 真空阀清洁手册（中文版）.Pdf.pdf - 第8页

Reference No. 9F02141 Investigat ive report Call Center No. 0 1 63 1 2/022954 (Page) 8 / 11 様式番号 9F30-00- 1 7 （第２版） NG 1. 将机械式气阀放置在图中红框内。 注意 ) 将机械式气阀的阀塞的粗的一面放到推动柱塞侧 1. ゲージのベースにメカバルブを写真赤枠の所にセットします。 注 ) メカニカルバルブのセットする方向はスプ…

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Reference No.
9F02141
Investigative
report
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様式番号 9F30-00-17（第２版）
15.拧紧盖子上的紧固螺丝。
(拧紧力矩为 0.3～0.4 N･m)
⑮：カバー取付ねじを締付ける。
(締付けトルクは 0.3～0.4 N･m)。
16: 不要使盖面和主体面之间产生高低差异。
装好后,要用专用治具量规来确认阀塞的动作
确实正常。
⑯：カバーとボディに段差が生じないように組み付
ける。組み付け後、専用ゲージを用いてスプール
が正常に動作する事を確認する。
* 专用治具量规的使用方法和动作确认方法
治具量规由放置机械式气阀的基座和推动阀塞
的柱塞构成。
柱塞推动阀塞的力 75g
最后顶住
基座的位置时 180g
＊専用ゲージの使用方法及び動作確認方法
ゲージは、ﾒｶﾊﾞﾙﾌﾞを置くﾍﾞｰｽ本体とｽﾌﾟｰﾙを押す
ﾌﾟﾗﾝｼﾞｬ‐とで構成されています。
ﾌﾟﾗﾝｼﾞｬｰのﾋﾟﾝがｽﾌﾟｰﾙを押す力は、
当たり初めの力 75ｇ
ﾍﾞｰｽ内突き当たり位置 180g
に設定されています。
基座
柱塞
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様式番号 9F30-00-17（第２版）
NG
1. 将机械式气阀放置在图中红框内。
注意) 将机械式气阀的阀塞的粗的一面放到推动柱塞侧
1.ゲージのベースにメカバルブを写真赤枠の所にセットします。
注) メカニカルバルブのセットする方向はスプールの太い方がプランジャー側になる様にします。
2. 用柱塞轻轻地推动机械式气阀的阀塞, 直到柱塞上的红线看不见为止, 才能说明机械式
气阀的组装和零件没有问题。
注意) 如果虽然红线看不见了,但是机械式气阀不动作的情况时,有可能是盖子组装的不
好、或者混入了杂物。此时请重新组装、再次确认。
如果重新组装后,阀塞也不能在规定的范围内动作的话,请交换机械式气阀。
2. プランジャーにてメカバルブスプールを軽く押し、プランジャー先端部にある赤いマーク線が隠れるまでに
スプールが動作すれば､そのメカニカルバルブの組み付け及び部品については問題ありません。
注 意）赤いマーク線が隠れてもメカバルブが動作していない場合、カバーの組付け不備、異物混入の可能性が
柱塞
推动柱塞
赤いマーク
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様式番号 9F30-00-17（第２版）
ありますので再度確認して組みつけを行って下さい。
補足；再組付け後にても、スプール動作が規定範囲内で動作しない場合、メカニカルバルブの交換を行って下さ
い。
3.机械式气阀的安装顺序
机械式气阀的安装顺序机械式气阀的安装顺序
机械式气阀的安装顺序
＜机械式气阀的安装基准＞
＜机械式气阀的安装基准＞＜机械式气阀的安装基准＞
＜机械式气阀的安装基准＞
安装机械式气阀时,左右基准为真空用 manifold(黑色树脂制的夹块)的端面,上下基准为安
装处槽面的上面。安装时请用 8Kgf·cm 的扭矩扳手。
*注意事项
注意事项注意事项
注意事项: ·如果拧的太紧，螺纹会被破坏
·如果拧的太紧，螺纹会被破坏·如果拧的太紧，螺纹会被破坏
·如果拧的太紧，螺纹会被破坏,请按照规定的扭矩来进行。
请按照规定的扭矩来进行。请按照规定的扭矩来进行。
请按照规定的扭矩来进行。
·组装时
·组装时·组装时
·组装时,请不要忘了装上
请不要忘了装上请不要忘了装上
请不要忘了装上 O 型环。
型环。型环。
型环。
＜机械式气阀安装位置确认顺序＞
1. 测定时, 将支撑轴 A 移动到 9 ST。
2. 用手柄把凸轮转到 180 度。
3. 将支撑轴 A 左侧的支撑轴 (支撑轴 P) 像图中所示那样, 把真空用
manifold(黑色树脂制的夹块) 的端面押向支撑轴安装处槽面的
上面, 并请用 8Kgf·cm 的扭矩扳手固定其螺栓。
4. 反复进行 2～3 的步骤,来确认所有的支撑轴。
３．メカニカルバルブ取付け手順
３．メカニカルバルブ取付け手順３．メカニカルバルブ取付け手順
３．メカニカルバルブ取付け手順
＜メカニカルバルブ取付け基準＞
＜メカニカルバルブ取付け基準＞＜メカニカルバルブ取付け基準＞
＜メカニカルバルブ取付け基準＞
メカ二カルバルブの取付けは、左右の基準をバキューム用マニホールド（黒色樹脂製）の端面
上下の基準を取り付け溝の上面とし、8 Kgf･cm のトルクレンチにて取り付けて下さい。
◎注意事項
◎注意事項◎注意事項
◎注意事項 ・締付力が強すぎるとタップが破損しますので規定トルクにて取付け願います。
・取付け時 O リングを忘れずに取り付けて下さい。
＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞
＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞
＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞
１．メカ二カルバルブの取り付けは、支持軸Ａを９ST に移動します。
２．ハンドルでカム角度 180 度に合わせます
３．支持軸Ａの左横の支持軸（支持軸Ｐ）を図のようにバキューム用
マニホールド（黒色樹脂製）の端面、支持軸取り付け溝の上面に
押し付けて 8 Kgf･cm のトルクレンチを使用してボルトを固定する。
４．２∼３までを繰り返し全ての支持軸について行ないます。