FUJI CP7 Series 真空阀清洁手册（中文版）.Pdf.pdf - 第9页

Reference No. 9F02141 Investigat ive report Call Center No. 0 1 63 1 2/022954 (Page) 9 / 11 様式番号 9F30-00- 1 7 （第２版） ありますので再度確認して組みつけを行って下さい。 補足；再組付け後にても、スプール動作が規定範囲内で動作しない場合、メカニカルバルブの交換を行って下さ い。 3. 机械式气阀的安装顺序 机械式气阀的安装顺序 …

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Reference No.
9F02141
Investigative
report
Call Center No.
016312/022954
(Page)
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様式番号 9F30-00-17（第２版）
NG
1. 将机械式气阀放置在图中红框内。
注意) 将机械式气阀的阀塞的粗的一面放到推动柱塞侧
1.ゲージのベースにメカバルブを写真赤枠の所にセットします。
注) メカニカルバルブのセットする方向はスプールの太い方がプランジャー側になる様にします。
2. 用柱塞轻轻地推动机械式气阀的阀塞, 直到柱塞上的红线看不见为止, 才能说明机械式
气阀的组装和零件没有问题。
注意) 如果虽然红线看不见了,但是机械式气阀不动作的情况时,有可能是盖子组装的不
好、或者混入了杂物。此时请重新组装、再次确认。
如果重新组装后,阀塞也不能在规定的范围内动作的话,请交换机械式气阀。
2. プランジャーにてメカバルブスプールを軽く押し、プランジャー先端部にある赤いマーク線が隠れるまでに
スプールが動作すれば､そのメカニカルバルブの組み付け及び部品については問題ありません。
注 意）赤いマーク線が隠れてもメカバルブが動作していない場合、カバーの組付け不備、異物混入の可能性が
柱塞
推动柱塞
赤いマーク
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様式番号 9F30-00-17（第２版）
ありますので再度確認して組みつけを行って下さい。
補足；再組付け後にても、スプール動作が規定範囲内で動作しない場合、メカニカルバルブの交換を行って下さ
い。
3.机械式气阀的安装顺序
机械式气阀的安装顺序机械式气阀的安装顺序
机械式气阀的安装顺序
＜机械式气阀的安装基准＞
＜机械式气阀的安装基准＞＜机械式气阀的安装基准＞
＜机械式气阀的安装基准＞
安装机械式气阀时,左右基准为真空用 manifold(黑色树脂制的夹块)的端面,上下基准为安
装处槽面的上面。安装时请用 8Kgf·cm 的扭矩扳手。
*注意事项
注意事项注意事项
注意事项: ·如果拧的太紧，螺纹会被破坏
·如果拧的太紧，螺纹会被破坏·如果拧的太紧，螺纹会被破坏
·如果拧的太紧，螺纹会被破坏,请按照规定的扭矩来进行。
请按照规定的扭矩来进行。请按照规定的扭矩来进行。
请按照规定的扭矩来进行。
·组装时
·组装时·组装时
·组装时,请不要忘了装上
请不要忘了装上请不要忘了装上
请不要忘了装上 O 型环。
型环。型环。
型环。
＜机械式气阀安装位置确认顺序＞
1. 测定时, 将支撑轴 A 移动到 9 ST。
2. 用手柄把凸轮转到 180 度。
3. 将支撑轴 A 左侧的支撑轴 (支撑轴 P) 像图中所示那样, 把真空用
manifold(黑色树脂制的夹块) 的端面押向支撑轴安装处槽面的
上面, 并请用 8Kgf·cm 的扭矩扳手固定其螺栓。
4. 反复进行 2～3 的步骤,来确认所有的支撑轴。
３．メカニカルバルブ取付け手順
３．メカニカルバルブ取付け手順３．メカニカルバルブ取付け手順
３．メカニカルバルブ取付け手順
＜メカニカルバルブ取付け基準＞
＜メカニカルバルブ取付け基準＞＜メカニカルバルブ取付け基準＞
＜メカニカルバルブ取付け基準＞
メカ二カルバルブの取付けは、左右の基準をバキューム用マニホールド（黒色樹脂製）の端面
上下の基準を取り付け溝の上面とし、8 Kgf･cm のトルクレンチにて取り付けて下さい。
◎注意事項
◎注意事項◎注意事項
◎注意事項 ・締付力が強すぎるとタップが破損しますので規定トルクにて取付け願います。
・取付け時 O リングを忘れずに取り付けて下さい。
＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞
＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞
＜メカニカルバルブ取付け位置確認手順＞
１．メカ二カルバルブの取り付けは、支持軸Ａを９ST に移動します。
２．ハンドルでカム角度 180 度に合わせます
３．支持軸Ａの左横の支持軸（支持軸Ｐ）を図のようにバキューム用
マニホールド（黒色樹脂製）の端面、支持軸取り付け溝の上面に
押し付けて 8 Kgf･cm のトルクレンチを使用してボルトを固定する。
４．２∼３までを繰り返し全ての支持軸について行ないます。
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様式番号 9F30-00-17（第２版）
<13ST 抛件
抛件抛件
抛件>
・ 用手转动凸轮,并确认 13ST 的拉杆能顺畅地动作、不发生干涉。
＜
＜＜
＜13
1313
13ＳＴパーツ排出＞
ＳＴパーツ排出＞ＳＴパーツ排出＞
ＳＴパーツ排出＞
・カムを手動にて回転させ、１３ST レバーがスムーズに動作し、干渉がない事を確認する
<9ST 机械式气阀>
确认 9ST 的拉杆和机械式气阀没有发生干涉。
＜
＜＜
＜9
99
9ＳＴ
ＳＴＳＴ
ＳＴメカニカルバルブ＞
＞＞
＞
9
99
9ＳＴ
ＳＴＳＴ
ＳＴレバーと
メカニカルバルブが干渉していない事を確認する
<真空压力
真空压力真空压力
真空压力(正压力
正压力正压力
正压力)的测量
的测量的测量
的测量 >
・在基准支撑轴(阀塞的位置最高的一个支撑轴)上安上正压计,移动至下述凸轮角度上。
9st CP732、CP742(M) ： 180 度
13st CP732 ： 194 度
CP742(M) ： 190 度
・ 使 I/O 的 Y03A(Air Blow) ON。 Adjust 控制阀(speed controller)的大小旋钮，使在
上述角度时基准支撑轴的 9ST 和 13ST 的正压值为下列数值。
・ 开始先将 9ST 和 13ST 控制阀的大小旋钮旋在大概的位置上(从全闭转 4 圈), 然后再
进行微调整,使两者都达到基准值。但是由于 9ST 和 13ST 控制阀是并联回路,所以两
者都边确认边调整。
・ 9st 正压量： 15±0.5kPa 113±3 mmHg
・ 13st 正压量： 7.0±0.5kPa 52±3 mmHg
<真空压力
真空压力真空压力
真空压力(负压力
负压力负压力
负压力)的测量
的测量的测量
的测量>
・请确认负压测定压在-80kPa(-600 mmHg) 以上。
＜バキューム圧
＜バキューム圧＜バキューム圧
＜バキューム圧(
((
(正圧
正圧正圧
正圧)
))
)測定＞
測定＞測定＞
測定＞
・ 基準支持軸（スプール位置の一番高い支持軸）正圧計を取り付け、下記カム角度へ移動させる。
9st ＣＰ７３２、CP７４２(Ｍ) ： 180 度
13st ＣＰ７３２ ： 194 度
ＣＰ７４２(Ｍ) ： 190 度
・ I/O の Y03A(Air Blow)を ON する。上記カム角度において基準支持軸の 9st,13st の正圧値が下記
に示す基準値に入るようにスピコンの絞りを調整して下さい。
・ その際、最初に 9st,13st のスピコンを目安の絞り(全閉から 4 回転)に設定し、そこから双方を