NPM-W2S 20161226.pdf - 第168页
27 NPM-W2 S:プロダクションモジュラー NPM -W 2S:Production Modular キットレイアウト 製品品番 Model No. 製品名称 Model Name NM-EJM5E KIT LAYOUT - - U53 ( KEJM5ES-00-27 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品 番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
26
NPM-W2S:プロダクションモジュラー
NPM-W2S:Production Modular
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM5E
KIT LIST
1
101
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O367
1
102
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O369
1
103
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O371
1
104
N610126470AB
Lubrication Set
給油セット
O373
1
105
N610105662AA
Attachment Case
付属品収納ケース
O375
1
106
N610102541AA
Unit Exchange Tool
ユニット交換工具
O377
1
107
N610133913AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 12Nz
ノズルホルダー清掃治具12Nzセット
O379
1
108
N610133914AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 16Nz
ノズルホルダー清掃治具16Nzセット
O381
U52
--
( KEJM5ES-00-26 )
27
NPM-W2S:プロダクションモジュラー
NPM-W2S:Production Modular
キットレイアウト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM5E
KIT LAYOUT
--
U53
( KEJM5ES-00-27 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品 番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
27
NPM-W2S:プロダクションモジュラー
NPM-W2S:Production Modular
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM5E
KIT LIST
1
109
N610081724AA
Standard Calibration Jig Kit:NPM
標準キャリブレーションジグキット:NPM
O383
1
110
N610102523AA
Standard Calibration Jig Case:NPM
標準キャリブレーションジグ用ケース:NPM
O387
1
111
N610124226AA
XY Plane Calibration Jig:NPM-W
面補正ジグ:NPM-W
O389
1
112
N610133833AA
Machine Adjustment Jig Case:NPM
本体調整用ジグ用ケース:NPM
O391
U54
--
( KEJM5ES-00-27 )