BM231 Mechanical 20070514老款H轴马达.pdf - 第337页

ﾍｯ ﾄﾞ 部( 吸着位置 確認ｶﾒ ﾗ部 ） HEAD SECT.( VACUUM PO SITION CO NFIRMATION CA MERA SECT .) 26 FN610031876AA_01 M315

100%1 / 399
　　　
　　　　　　　　　 PART NAME
　　　　 REMARKS　
Q'TY
25
ﾌﾟﾘﾝﾄ基板搬送部(ｽﾄｯﾊﾟ調整治具)
P.C.B. TRANSFER SECT.(STOPPER ADJUSTMENT JIG)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品　 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 1080731160
P.C. BOARD TRANSFER UNIT ﾌﾟﾘﾝﾄｷﾊﾞﾝﾊﾝｿｳﾕﾆｯﾄ
1
161 1080731161
JIG(PLATE) ｼﾞｸﾞ(ﾌﾟﾚｰﾄ)
4
162 108073116201
PLATE ﾌﾟﾚｰﾄ
M314
F10807-31-160-AA
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
26
FN610031876AA_01
M315
　　　
　　　　　　　　　 PART NAME
　　　　 REMARKS　
Q'TY
26
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品　 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 N610031876AA
CAMERA UNIT ｶﾒﾗﾕﾆｯﾄ
1
652 1086209602
HOLDER ﾎﾙﾀﾞ
1
653 108620962302
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1654 108620965401
SPACER ｽﾍﾟｰｻ
99YA
1
N651
N94199YA
LENS ﾚﾝｽﾞ
CS8630i-03
1
N652
N510023803AA
CAMERA ｶﾒﾗ
M316
FN610031876AA_01