BM231 Mechanical 20070514老款H轴马达.pdf - 第339页
ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝ部(ｼﾞ ｸﾞﾉｽﾞﾙ部) CALIBRATION SECT.(JI G NOZZLE SECT.) 27 F10862-31-000 M317
PART NAME
REMARKS
Q'TY
26
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 N610031876AA
CAMERA UNIT ｶﾒﾗﾕﾆｯﾄ
1
652 1086209602
HOLDER ﾎﾙﾀﾞ
1
653 108620962302
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1654 108620965401
SPACER ｽﾍﾟｰｻ
99YA
1
N651
N94199YA
LENS ﾚﾝｽﾞ
CS8630i-03
1
N652
N510023803AA
CAMERA ｶﾒﾗ
M316
FN610031876AA_01
ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝ部(ｼﾞｸﾞﾉｽﾞﾙ部)
CALIBRATION SECT.(JIG NOZZLE SECT.)
27
F10862-31-000
M317
PART NAME
REMARKS
Q'TY
27
ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝ部(ｼﾞｸﾞﾉｽﾞﾙ部)
CALIBRATION SECT.(JIG NOZZLE SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 1086231000
NOZZLE UNIT ﾉｽﾞﾙﾕﾆｯﾄ
1
1 1086231001
JIG(NOZZLE) ｼﾞｸﾞ(ﾉｽﾞﾙ)
1
2 1086231002
JIG(PLATE) ｼﾞｸﾞ(ﾌﾟﾚｰﾄ)
13 108078900502
PIN ﾋﾟﾝ
M318
F10862-31-000