BM231 Mechanical 20070514老款H轴马达.pdf - 第338页

PART NAME REMARKS Q'TY 26 ﾍｯ ﾄﾞ 部( 吸着位置 確認ｶﾒ ﾗ部 ） HEAD SECT.( VACUUM PO SITION CO NFIRMATION CA MERA SECT .) ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART No. 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 N610031876AA CAMERA UNIT ｶﾒﾗﾕﾆｯﾄ 1 652 1086209602 HOL…

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ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
26
FN610031876AA_01
M315
　　　
　　　　　　　　　 PART NAME
　　　　 REMARKS　
Q'TY
26
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品　 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 N610031876AA
CAMERA UNIT ｶﾒﾗﾕﾆｯﾄ
1
652 1086209602
HOLDER ﾎﾙﾀﾞ
1
653 108620962302
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1654 108620965401
SPACER ｽﾍﾟｰｻ
99YA
1
N651
N94199YA
LENS ﾚﾝｽﾞ
CS8630i-03
1
N652
N510023803AA
CAMERA ｶﾒﾗ
M316
FN610031876AA_01
ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝ部(ｼﾞｸﾞﾉｽﾞﾙ部)
CALIBRATION SECT.(JIG NOZZLE SECT.)
27
F10862-31-000
M317