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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务 版本 04/2018 5.1 填充晶圆盘 89 5S W S 任 务 本章包括若干个可以帮助您在 SIPLACE 生产线上完 成日常作业的主题。 例如，通过本章内容， 您可以了解到能够最大程度减少 停机的预防性措施， 从而在生产过程中最大限度地提高 SIPLACE 生产线的效率。 5 5.1 填充晶圆盘 用晶圆框重新装满晶圆盘。晶圆框的 对中卡槽必须对着晶圆盘的开…
4 设置与调试 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
4.2 安装位置的基础设施 版本 04/2018
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.1 填充晶圆盘
89
5SWS 任务
本章包括若干个可以帮助您在 SIPLACE 生产线上完成日常作业的主题。 例如，通过本章内容，
您可以了解到能够最大程度减少停机的预防性措施，从而在生产过程中最大限度地提高 SIPLACE
生产线的效率。
5
5.1 填充晶圆盘
用晶圆框重新装满晶圆盘。晶圆框的对中卡槽必须对着晶圆盘的开口。
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请注意
有资质人员正确使用
使用不正确可能对生命和肢体造成伤害并可能造成设备损失。
只有具备相关资质的人员才可以运行、操作 SIPLACE 晶圆系统或对其进行作业。 更
多相关信息，请参见第 14
页第 1.1.5 节。
必须通过接受培训或工作人员授课指导获取这些资质证明。 这些授课指导必须由经
过 SIPLACE 培训和授权的人员提供。 有关培训课程总览，请参阅第 29
页第 1.3
节。
请注意
为 5、4 或 7 英寸的晶圆使用晶圆框适配器时，请确保您仅使用每第二个卡槽。
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中 版本 04/2018
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5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中
将晶圆盘升降机移到吸嘴盘更换位置，使晶圆盘升降机与更换位置的高度齐平。
打开晶圆盘升降机的 SWS 推拉门，然后将晶圆盘放到托板上。 晶圆的对中卡槽必须对准设
备。 请确保晶圆盘已正确锁定。
图 5.2 - 1 插入晶圆盘
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5.2.1 向上旋转晶圆盘和关闭晶圆盘
为对无法从上方操作的组件执行维修工作，您将需要从正面建立一个通道以便操作 SWS 内部。
详情请参阅 SWS 维护手册。
请注意
在插入晶圆框时，晶圆框里的凹槽必须对着馈入方向。