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5 SW S 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5.3 为推送系统设置顶针配置 版本 04/2018 92 拉出推送系统 (1) 。 拔下黑色帽 (2) 以露出引导头 (3) 中的顶针。 顶针可以夹入到 4 个扇 区中。 中间可以夹一根顶针。 5 平头螺丝 (4) 将顶针夹入到 4 个段位器中的相应位置 。 中间的顶针使用下部平头螺丝 (5) 夹入到位。 5 在 4 个段位器的小孔中安装适 合您的…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置
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5.3 为推送系统设置顶针配置
在 SWS GUI 中切换到手动操作 -> 晶圆处理视图，然后点击前往更改位置按钮。
晶圆台已被移除。
在 SWS GUI 中，切换到手动操作 -> 晶粒处理视图，然后选择推送单元选项卡。
点击这个 按钮。
晶粒推送器向上移动，以便可对其进行操作。
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打开 SIPLACE CA4 V2 上的侧推拉盖。
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图 5.3 - 1 晶粒推送器的推送系统，磁性
谨慎
损坏的危险！
当手动移动晶圆台时，被向上移动的推送系统可能与晶圆台发生碰撞而损坏。
不要手动推入晶圆台。
谨慎
被尖锐顶针刺伤的危险
存在被推送系统上的尖锐顶针刺伤的危险。
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5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.3 为推送系统设置顶针配置 版本 04/2018
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拉出推送系统 (1)。
拔下黑色帽 (2) 以露出引导头 (3) 中的顶针。
顶针可以夹入到 4 个扇区中。 中间可以夹一根顶针。 5
平头螺丝 (4) 将顶针夹入到 4 个段位器中的相应位置。
中间的顶针使用下部平头螺丝 (5) 夹入到位。 5
在 4 个段位器的小孔中安装适合您的应用的相应顶针。
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图 5.3 - 2 顶针位置图 （示例）
– 推送系统 5 个顶针，间距 3.5 mm (00385535-02)
– 推送系统 5 个顶针，间距 2 mm (00386908-02)
使用相关校准标准执行以下调整。
3.5 mm 或 2 mm
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版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置
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5.3.1 使用校准标准 03098221-xx 设置顶针
对于磁性晶粒推送器，部件号 03098221-xx
对于带卡口锁的晶粒推送器 （旧版）； 部件号： 03080191-xx
装备
– 顶针属于备件
– 晶粒推送器的校准标准 （磁性）(03098221-xx)
用晶粒推送器的校准标准将所有顶针调整到设定的高度和同一个水平面上。 5
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图 5.3 - 3 晶粒推送器的校准标准 （磁性）- 部件号：03098221-xx
移除推送系统的黑色帽。
小心地将所有顶针插入到段位器中，并将这些顶针在同一条线上对齐。
松弛地拧紧平头螺丝。 这些顶针需要依然是可移动的。