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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务 版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置 91 5.3 为推送系统设置顶针配置 在 SWS GUI 中切换到 手动操作 -> 晶圆处理 视图 ，然后点击 前往更改位置 按钮。 晶圆台已被移除。 在 SWS GUI 中，切换到 手动操作 -> 晶粒处理 视图，然后选择 推送单元 选项卡。 点击这个 按钮。 晶粒推送器向上移动，以便可 …
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中 版本 04/2018
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5.2 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中
将晶圆盘升降机移到吸嘴盘更换位置，使晶圆盘升降机与更换位置的高度齐平。
打开晶圆盘升降机的 SWS 推拉门，然后将晶圆盘放到托板上。 晶圆的对中卡槽必须对准设
备。 请确保晶圆盘已正确锁定。
图 5.2 - 1 插入晶圆盘
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5.2.1 向上旋转晶圆盘和关闭晶圆盘
为对无法从上方操作的组件执行维修工作，您将需要从正面建立一个通道以便操作 SWS 内部。
详情请参阅 SWS 维护手册。
请注意
在插入晶圆框时，晶圆框里的凹槽必须对着馈入方向。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.3 为推送系统设置顶针配置
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5.3 为推送系统设置顶针配置
在 SWS GUI 中切换到手动操作 -> 晶圆处理视图，然后点击前往更改位置按钮。
晶圆台已被移除。
在 SWS GUI 中，切换到手动操作 -> 晶粒处理视图，然后选择推送单元选项卡。
点击这个 按钮。
晶粒推送器向上移动，以便可对其进行操作。
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打开 SIPLACE CA4 V2 上的侧推拉盖。
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图 5.3 - 1 晶粒推送器的推送系统，磁性
谨慎
损坏的危险！
当手动移动晶圆台时，被向上移动的推送系统可能与晶圆台发生碰撞而损坏。
不要手动推入晶圆台。
谨慎
被尖锐顶针刺伤的危险
存在被推送系统上的尖锐顶针刺伤的危险。
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5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.3 为推送系统设置顶针配置 版本 04/2018
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拉出推送系统 (1)。
拔下黑色帽 (2) 以露出引导头 (3) 中的顶针。
顶针可以夹入到 4 个扇区中。 中间可以夹一根顶针。 5
平头螺丝 (4) 将顶针夹入到 4 个段位器中的相应位置。
中间的顶针使用下部平头螺丝 (5) 夹入到位。 5
在 4 个段位器的小孔中安装适合您的应用的相应顶针。
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图 5.3 - 2 顶针位置图 （示例）
– 推送系统 5 个顶针，间距 3.5 mm (00385535-02)
– 推送系统 5 个顶针，间距 2 mm (00386908-02)
使用相关校准标准执行以下调整。
3.5 mm 或 2 mm