Ersa HF3_20 操作说明.pdf - 第315页
6|功能描述 请在框 [快速充氮] 中规定氮气流设置 可以在首次接通机器时为工艺腔填充氮气。这样可以快速生产保护气环境，由 此缩短等待时间。 ü 请规定氮气流设置： a) 点击输入框 [最长快速充氮时间]，并输入一个时间，其以 [分钟] 为单 位。 ð 如果未激活复选框 [降到氧气设定值时停止快速充氮]，在首次接通时 根据输入的 [最长快速充氮时间] 为工艺腔填充氮气。 ð 如果时间已过，N2 执行器 氮气驱动部件 会切换为正常运行…
6|功能描述
[氮气比例阀] 框
以下设置取决于所使用的执行器。为此，请阅读执行器的数据表：
– [最小输入信号 N2]：以 [mV] 为单位说明完全关闭执行器时的电压（流
量 = 0%）
– [最大输入信号 N2] 以 [mV] 为单位说明完全打开执行器时的电压（流量
= 100%）
[氮气压力测量] 框
当您将垂直滚动栏向下移时，可以看到该框。
ü 在不遵守氮气供给公差时改变信息类型：
a) 激活复选框 [信息：氮气压力过低报警]。
ð 在未遵守公差时不显示等等信息，而是显示一条故障信息。必须应答故障
信息。
ü 规定氮气供给压力公差极限：
a) 点击输入框 [最小氮气压力]，以 [mbar] 为单位输入最低压力。
ð 如果低于该数值，则将会显示一条消息。
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操作说明_HF3_20_zh|Rev. 7|2017/10/25 314/600
6|功能描述
请在框 [快速充氮] 中规定氮气流设置
可以在首次接通机器时为工艺腔填充氮气。这样可以快速生产保护气环境，由
此缩短等待时间。
ü 请规定氮气流设置：
a) 点击输入框 [最长快速充氮时间]，并输入一个时间，其以 [分钟] 为单
位。
ð 如果未激活复选框 [降到氧气设定值时停止快速充氮]，在首次接通时
根据输入的 [最长快速充氮时间] 为工艺腔填充氮气。
ð 如果时间已过，N2 执行器 氮气驱动部件 会切换为正常运行模式，结
束填充。
b) 激活复选框 [降到氧气设定值时停止快速充氮]。
ð 现在可以编辑输入框 [O2料位N2淹没关闭]。
c) 点击输入框 [O2料位N2淹没关闭]，并输入一个数值，其以 [ppm] 为单
位。
ð 在首次接通机器时根据输入的 [最长快速充氮时间] 为工艺腔填充氮
气。
ð 如果在 [最长快速充氮时间] 结束
前
达到值 [O2料位N2淹没关闭]，N2
执行器氮气驱动部件 会切换为正常运行模式，结束填充。
ð 如果在[最长快速充氮时间] 结束后
未
达到值 [O2料位N2淹没关闭]，
N2 执行器氮气驱动部件 会切换为正常运行模式，结束填充。
ð 由此结束该过程。
提示：
可以选择通过旁通阀控制该功能。
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操作说明_HF3_20_zh|Rev. 7|2017/10/25 315/600
6|功能描述
[含氧量测量点] 框上部区域中的复选框
– [监控含氧分析 2]
– [监控含氧分析 3]
ü 通过控制器监控含氧量测量仪：
a) 激活复选框 [监测含氧分析仪]。
ð 通过控制器监测量仪。在出现故障时，会显示一条信息。
– [在主界面显示含氧分析仪 2 O2按钮]
– [在主界面显示含氧分析仪 3 O2按钮]
ü 在基础对话框中显示额外测量设备剩余氧气测量的按键：
a) 激活复选框[在主界面显示含氧分析仪 2 O2按钮] 和 [在主界面显示含氧
分析仪 3 O2按钮]。
ð 现在在基础对话框底部工具栏中显示按键。在按键底部区域中可以读取当
前残氧量，单位为[ppm]。
[测量点 1] 框
监控是否遵守公差
ü 通过控制器监控是否遵守剩余氧气测量公差：
a) 激活复选框 [评估误差]。
ð 现在由控制器监控是否遵守公差。在未遵守公差时，会显示一条故障信
息。必须由用户应答故障信息。
在不遵守公差时改变信息类型
ü 在不遵守剩余氧气测量公差时改变信息类型：
a) 激活复选框 [O2气含量不在公差范围内的等待信息]。
ð 在未遵守公差时不显示故障信息，而是显示一条等待信息。不必应答故障
信息。
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