SP28P-DH.pdf - 第129页
1 KXF00X6AA00 REGULATOR AR1000-M5B-X507 1 2 KXF02SZAA00 ELBOW M-5ALU-4 2 3 KXF00Y7AA00 SPEED-CONTROLLER AS1000-M5 1 4 KXF02TKAA00 NIPPLE M-5UN 2 5 KXF0DZHTA00 BAND VE36 3 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23…
1 KXF00X6AA00 REGULATOR AR1000-M5B-X507 1
2 KXF02SZAA00 ELBOW M-5ALU-4 2
3 KXF00Y7AA00 SPEED-CONTROLLER AS1000-M5 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-F
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
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