SP28P-DH.pdf - 第131页
1 1956C262040 BRACKET 1 2 KXF02CSAA00 JOINT KQP-08 3 3 KXF0977AA00 SOCKET CPS15M-8B 3 4 KXF09Y3AA00 JOINT CPP15-8B 3 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 NO 番号 ＭＯ機番 ユニット名称 ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆ…
1 1956C262040 BRACKET 1
2 KXF02CSAA00 JOINT KQP-08 3
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Mask cleaning unit:SP28P-DH
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1956C2M0000
10-G
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −105 18 0000−（ ）
