SP28P-DH.pdf - 第130页

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1 KXF00X6AA00 REGULATOR AR1000-M5B-X507 1

2 KXF02SZAA00 ELBOW M-5ALU-4 2

3 KXF00Y7AA00 SPEED-CONTROLLER AS1000-M5 1

4 KXF02TKAA00 NIPPLE M-5UN 2

5 KXF0DZHTA00 BAND VE36 3

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NO

番号

ＭＯ機番

ユニット名称

ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH

UNIT NAME

PART NUMBER

品番部品名型式数量ﾗﾝｸ備考

Mask cleaning unit:SP28P-DH

PART LIST

MODULE NUMBER

パーツリスト

1956C2M0000

10-F

UNIT NUMBER

ユニットＮｏ.

PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS

− −103 16 0001−（）

1 1956C262040 BRACKET 1

2 KXF02CSAA00 JOINT KQP-08 3

3 KXF0977AA00 SOCKET CPS15M-8B 3

4 KXF09Y3AA00 JOINT CPP15-8B 3

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NO

番号

ＭＯ機番

ユニット名称

ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH

UNIT NAME

PART NUMBER

品番部品名型式数量ﾗﾝｸ備考

Mask cleaning unit:SP28P-DH

PART LIST

MODULE NUMBER

パーツリスト

1956C2M0000

10-G

UNIT NUMBER

ユニットＮｏ.

PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS

− −105 18 0000−（）