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1 KXFP031AA00 MAGNET-SW SW-03 main circuit AC200V 0.4kW coil AC100V 1a 1 2 KXFP2NAAA00 SK XE1201 3 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 NO 番号 ＭＯ機番 ユニット名称 真空ﾎﾟﾝﾌﾟU制御部:SP28 UNIT NAME…
1 KXFP031AA00 MAGNET-SW SW-03 main circuit AC200V 0.4kW coil AC100V 1a 1
2 KXFP2NAAA00 SK XE1201 3
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
真空ﾎﾟﾝﾌﾟU制御部:SP28
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Vacuum Pump U Control Section: SP28
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
332SC0M0000
4
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −10 02 0000−（ ）
