SP28P-DH.pdf - 第132页

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1 1956C262040 BRACKET 1

2 KXF02CSAA00 JOINT KQP-08 3

3 KXF0977AA00 SOCKET CPS15M-8B 3

4 KXF09Y3AA00 JOINT CPP15-8B 3

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NO

番号

ＭＯ機番

ユニット名称

ﾏｽｸｸﾘｰﾆﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ:SP28P-DH

UNIT NAME

PART NUMBER

品番部品名型式数量ﾗﾝｸ備考

Mask cleaning unit:SP28P-DH

PART LIST

MODULE NUMBER

パーツリスト

1956C2M0000

10-G

UNIT NUMBER

ユニットＮｏ.

PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS

− −105 18 0000−（）

1 101EC111010 BLOCK 1

2 101EC111021 BLOCK 8

3 KXF09TBAA00 BOLT GUTB3-4-20 18

4 101EC181020 MAGNET KM-0015(DA) 24

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28

29

30

NO

番号

ＭＯ機番

ユニット名称

基板下受ﾌﾞﾛｯｸ:SP28P-DH

UNIT NAME

PART NUMBER

品番部品名型式数量ﾗﾝｸ備考

PCB lower receiving:SP28P-DH

PART LIST

MODULE NUMBER

パーツリスト

101EC1M0000

11

UNIT NUMBER

ユニットＮｏ.

PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS

− −107 02 0000−（）