SP22P Mechanical20091001.pdf - 第62页
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1 0799C211060 COUPLING 1
2 0799C211070 PLATE 1
3 0799C211080 PLATE 1
4 0799C211090 BASE-PLATE 1
5 0799C211101 POST 4
6 0799C261070 BRACKET 2
7 0799C261530 COVER 1
8 0799C261061 COVER 1
9 0799C261511 BRACKET 1
10 0799C261521 BRACKET 1
11 KXF063SAA00 BOLT Hexagon socket button head screw M6×12L 8
12 0799C281140 LINEAR-GUIDE LY200540AL2K03-P6Z0(DA) 2
13 KXF02YRAA00 D-PIN MS6-15 4
14 0799C281170 MOTOR MSM022ADA 1
15 KXF098NAA00 SPACER CU-409 2
16 KXF07GBAA00 BALL-SCREW W1504FA-2-C5T10 1
17 KXF00CMAA00 CABLE-BEAR 25.5-075-12-20A 1
18 0799C281520 CABLE-BEAR TKP0625-2BR125×13 link IB・KB 1
19 0799C211110 BRACKET 3
20 KXF07TJAA00 SCREW Cross recessed pan head machine screw M6×12L 8
21 KXF053CAA00 SEPARATOR Separator 201 6
22 KXF06PKAA00 SEPARATOR TKP0625-2BST 7
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NO
番号
MO機番
ユニット名称
XYテ-ブル:SP22P-M
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ランク 備考
XY table:SP22P-M
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
0799C2M0000
4-B
UNIT NUMBER
ユニットNo.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −40 04 0003−( )


1 1766C011010 BRACKET 1
2 KXFP4UQAA00 CAMERA CCD63-TR3 1
3 KXF08D9AA00 LENS KOK-91LE 1
4 KXF07RPAA00 LIGHT M09-9L 1
5 1766C081040 LED-LAMP-UNIT LED-VK(only LED light source and power source) 1
6 1766C061010 PLATE 1
7 KXF07UJAA00 SPACER BSF-410 4
8 KXF07UKAA00 SPACER BSF-480 8
9 1766C011020 COVER 1
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NO
番号
MO機番
ユニット名称
マスク認識部:SP20P-MA1
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ランク 備考
Mask recognition section: SP20P-MA1
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1766C0M0000
5
UNIT NUMBER
ユニットNo.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −42 02 0005−( )