SP22P Mechanical20091001.pdf - 第84页
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31 KXF07JRAA00 PH-SENSOR PM-L53-C1 1 A
32 1939C211400 PIPE 1
33 1939C211410 PLATE 1
34 KXF06CPAA00 HOSE-BAND No.610 B-type free band φ32 2
35 1939C281361 HOSE Light hose φ25×1.7m 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
自動ﾏｽｸｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ:SP22P-M
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Automatic mask cleaning:SP22P-M
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1939C2M0000
7-C
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −58 09 0002−（ ）
1 1939C263011 BASE 1
2 1939C263021 COVER 1
3 KXF09ZMAA00 BLOWER VFC508AN 1
4 KXF061UAA00 SILENCER VFY024B 1
5 KXF055VAA00 NIPPLE Reducing nipple 1 1/2×1 1/4 1
6 KXF09A8AA00 TEES Reducing cheese 1 1/2×1 1/2×2 1
7 KXF05ZAAA00 CAPCON OA-W2216 1
8
9 KXF01D9AA00 ADJUSTER C-280-3 4
10 KXF04BBAA00 WASHER Thick washer for M10 4
11 KXF0064AA00 SCREW Cross recessed truss head screw M4×12L 9
12 KXF0810AA00 GROMMET C-30-SG-26A 1
13 1939C214060 PLATE 1
14 KXF09DFAA00 GUM UWF30 2
15 KXF09AHAA00 NIPPLE Barrel nipple 2 1
16 KXF09A9AA00 FILTER AP-16 1
17 KXF09DGAA00 SOCKET Socket 2 1
18 1939C284550 BOX YH578392 1
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NO
番号
ＭＯ機番
ユニット名称
自動ﾏｽｸｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ:SP22P-M
UNIT NAME
PART NUMBER
品番 部品名 型式 数量 ﾗﾝｸ 備考
Automatic mask cleaning:SP22P-M
PART LIST
MODULE NUMBER
パーツリスト
1939C2M0000
7-D
UNIT NUMBER
ユニットＮｏ.
PART NAME TYPE Q'TY RANK REMARKS
− −60 11 0003−（ ）