AIM 机械手册QD053-04.pdf - 第15页
QD053-04 目录 AIM 机械手册 ix 9.1.7 补正贴装精度 ( 最终修正值反映方式 )....... 240 9.1.8 测定模式的设定 .......................... 246 9.1.9 关于样品 job 「PAM_Sample」 ............... 247 9.1.10 机上 PAM 的限制事宜 ..................... 248 9.2 搬运轨道进入传感器·送出传感器…
目录 QD053-04
viii AIM 机械手册
8.7.3 更换方法 ................................ 207
8.8 基座控制箱的更换 ....................... 209
8.8.1 必要工具 ................................ 209
8.8.2 操作时间 ................................ 209
8.8.3 更换方法 ................................ 209
8.9 基座 CPU 箱的更换 ....................... 211
8.9.1 必要工具 ................................ 211
8.9.2 操作时间 ................................ 211
8.9.3 更换方法 ................................ 211
8.10 真空泵控制箱的更换 .................... 213
8.10.1 更换方法 ............................... 213
8.11 料站托架 DC 电源的更换 ................. 215
8.11.1 更换方法 ............................... 215
8.12 搬运轨道控制箱的更换 .................. 217
8.12.1 更换方法 ............................... 217
8.13 料站托架·基座部份插座的更换 .......... 219
8.13.1 更换方法 ............................... 219
8.14 料盘单元 -L 盖板的拆除·安装 ........... 220
8.14.1 料盘单元 -L 盖板的构成部件 .............. 220
8.14.2 拆除 ................................... 221
8.14.3 安装 ................................... 225
8.15 远程控制 I/O 电路板的更换 .............. 226
8.15.1 更换方法 ............................... 226
8.16 分配器的更换 .......................... 228
8.16.1 更换方法 ............................... 228
9. 传感器的调整 ............................. 231
9.1 机上 PAM （测定贴装精度） ............... 231
9.1.1 准备物品 ................................ 231
9.1.2 测定的准备 .............................. 233
9.1.3 PAM 操作流程 ............................ 235
9.1.4 PAM 模式设定 ............................ 236
9.1.5 测定方法 ................................ 237
9.1.6 取得测定结果文件 ........................ 239
QD053-04 目录
AIM 机械手册 ix
9.1.7 补正贴装精度 ( 最终修正值反映方式 )....... 240
9.1.8 测定模式的设定 .......................... 246
9.1.9 关于样品 job 「PAM_Sample」............... 247
9.1.10 机上 PAM 的限制事宜 ..................... 248
9.2 搬运轨道进入传感器·送出传感器 ........ 249
9.2.1 远程调整方法 ............................ 249
9.2.2 机器上的调整方法 ........................ 250
9.3 真空传感器 ............................ 251
9.3.1 调整方法 ................................ 251
9.4 压力传感器 ............................ 252
9.4.1 调整方法 ................................ 252
10. 补充说明................................ 253
10.1 噪音 ................................. 253
10.1.1 噪音程度测定结果 ....................... 253
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MEMO: