KE-3010_20V操作手册（操作员用）.pdf - 第91页
操作手册 I 4-49 ＜XL 规格 更换准备＞ ※ 为 电动台架规格时，请按照前项中的「切带单元的更换」 ，取下切带单元。 1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。 （请注意开动后很快会发烫。 ） 2） 请取下前侧①和后侧②的盖罩。 3） 取下前侧的真空泵盖罩。 ① ② 前侧 后侧 ③ ④
操作手册 I
4-48
3） 从真空泵拔下气管、电线（电源线、保险丝），卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的③内六角螺栓（M4
×8)。
4） 将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意电线。
※
取出真空泵时，有时真空泵托架会与橡胶垫粘连在一起。
※
取出真空泵时，请勿把持连接管。
VAC PUMP PLATE
内
六
角螺栓
×4
电源、保险丝
电源、保险丝使用捆束绳
（小）固定一处。
连接管
操作手册 I
4-49
＜XL 规格 更换准备＞
※为
电动台架规格时，请按照前项中的「切带单元的更换」，取下切带单元。
1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。
（请注意开动后很快会发烫。）
2） 请取下前侧①和后侧②的盖罩。
3） 取下前侧的真空泵盖罩。
①
②
前侧
后侧
③
④
操作手册 I
4-50
4) 拆下连接在真空泵上的气管、电线（电源、地线）。
5) 取下固定真空泵托盘前侧的圆头螺钉③。
6) 拧松固定真空泵托盘后侧的凸缘螺母④。
7) 将真空泵从前侧拉出。（拉出时请注意电线。）
更换 密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封圈圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在不
关闭护罩状态下参照各部位的更换工序项目）
泵头护罩
密封圈 内六角螺栓 泵头盘
取下气管的位置
缆线捆束线
前侧
后侧
③
④