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RL131 维修手册 5.2 搬送导轨 DA8MCC-Y3-000- A0 5.2-1 5.2. 搬送导轨 DA8MCC-Y3-000-A0 5.2.1 搬送导轨 装置编号： N610061299AA 编号 名称 型号 1. 基板存在检测 P919T 2. 基板存在检测 P919T 3. 轨道上下气缸返回检测 D-C73 4. 轨道上下气缸前进检测 D-C73 1. 2. 3. 4.