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RL131 维修手册 7.3 基板搬送部 DA8MCC-Z4-00 0-A0 7.3-5 7.3.5 基板搬 送部 装置编号 N610060945AA  检查 周期 No. 项目 作业 详细内容 升降动作顺畅。 应滑动顺畅。 a. 杆 支点部能轻轻动作。 每天 b. 传送销爪 应准确地进入基板孔。 c. 皮带 无磨损。 d. 轴 滑动面 : 清扫垃圾 、灰尘。 销爪无松动。 每周 e. 传送销爪 销爪没有损坏或变形。  加油 周期 …

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RL131
维修手册
7.3 基板搬送部
DA8MCC-Z4-000-A0
7.3-4
7.3.4 搬送臂连动部
装置编号
N610066187AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
每月
a.
凸轮从动件
顺畅地转动。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
每月
1.
凸轮从动件
0.1 cm
3
位置: 滑行面
a / 1. 凸轮从动件
RL131
维修手册
7.3 基板搬送部
DA8MCC-Z4-000-A0
7.3-5
7.3.5 基板搬送部
装置编号
N610060945AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
升降动作顺畅。
应滑动顺畅。
a.
杆
支点部能轻轻动作。
每天
b.
传送销爪
应准确地进入基板孔。
c.
皮带
无磨损。
d.
轴
滑动面: 清扫垃圾、灰尘。
销爪无松动。
每周
e.
传送销爪
销爪没有损坏或变形。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
杆支点
1 至 2 滴
3 个月
2.
轴
0.25 cm
3
位置: 滑动面
1. 杆支点
b. / e. 传送销爪
d. / 2. 轴
a. 杆
c. 皮带
RL131
维修手册
7.3 基板搬送部
DA8MCC-Z4-000-A0
7.3-6