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第 3 章 定期的に行っていただきたい項目 目次 1. 毎週 3- 1 1.1 ノズルの点検と清掃 3- 1 1.1.1 バフィング部の点検と清掃 3- 1 1.1.2 板バネの確認 3- 3 1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認 3- 4 1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 3- 5 1.3.1 基板クランプ状態の確認 3- 5 1.3.2 基板クランプ動作の確認 3- 5 …
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3.カメラ透明カバーの清掃
マルチビューカメラの透明カバーにホコリなどが付着していると、部品認識エラーの原因になることがありま
す。これを防ぐために定期的に点検・清掃することをお勧めします。
e
作業を安全に行うため、マシンが非常停止状態、あるいはマシンの電源スイッチが OFF になっていることを確
認してください。
1
光学系ブラシで透明カバー上のホコリ
を払います。
51207-L5-00
参考
光学系ブラシはオプション購入品となります。
2
ウエスで透明カバーを拭きます。
ウエスにレンズクリーナーを数滴付けて透明カ
バーを拭いてください。
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n
要点
ウエスはホコリの出ないものを使用してください。
レンズクリーナーはオプション購入品となります。
光学系ブラシでホコリを払う
Step 1
光学系ブラシ
ウエスで透明カバーを拭く
Step 2
ホコリの出ないウエス
第 3 章
定期的に行っていただきたい項目
目次
1. 毎週 3-1
1.1 ノズルの点検と清掃 3-1
1.1.1 バフィング部の点検と清掃 3-1
1.1.2 板バネの確認 3-3
1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認 3-4
1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 3-5
1.3.1 基板クランプ状態の確認 3-5
1.3.2 基板クランプ動作の確認 3-5
2. 毎月または隔月 3-6
2.1 ノズルエア経路の清掃 3-6
2.2 各軸のボールスクリューおよびリニアガイドの点検 3-7
2.3 X,Y,W 軸の清掃・給油 3-8
2.3.1 X,Y,W 軸ボールスクリューの清掃・給油 3-8
2.3.2 X,Y,W 軸リニアガイドの清掃・給油 3-11
2.4 プッシュアップ軸の点検・清掃と給油 3-13
2.5 基板搬送部の点検 3-15
2.5.1 コンベアベルトの点検と清掃 3-15
3. 3 ヶ月 3-16
3.1 エジェクターフィルターの清掃・交換 3-16
3.1.1 エジェクター真空圧力の点検 3-17
3.1.2 ブローバルブの動作確認 ( 各ヘッド単体 ) 3-18
3.1.3 清掃用ブローバルブの動作確認 ( 連動 ) 3-18
3.2 スプラインシャフト内の清掃・給油 3-19
3.2.1 スプラインシャフト内の洗浄 3-19
3.2.2 負圧状態の確認 3-22
3.3 スプラインシャフトの動作確認と給油 3-23
3.4 SC 軸フレックスケーブルの確認 3-24
3.5 エア / ミストフィルターの点検・清掃 3-25
