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5 设备上的作业 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 5.4 SWS 任务 使用软件版本 SC.707.0 或更新 201 3 年 10 月版 简体中文 312 5.4.4 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中 打开晶圆盘升降机的推拉门，然后将晶圆盘放到 托板上。晶圆的对中卡槽必须对准 设备。请 确保晶圆盘已正确锁定。 图 . 5.4 - 1 插入晶圆 盘 5 请注意 在插入晶圆框时，晶圆框里的 凹槽必须对着馈入方向。
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 5 设备上的作业
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 5.4 SWS 任务
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5.4 SWS 任务
5.4.1 启动 SIPLACE CA
所有 SIPLACE CA SWS 上的第一个开关
模块启动中。只要贴片机还没有启动，SWS 模块的显示屏上就会出现一条错误信息，指出安全电
路未被闭合。
启动贴片机。
工作站计算机和设备控制装置将启动。
一旦贴片机被启动并按下了 Start （启动）按钮，关于安全电路未闭合的错误消息将从 SWS 的显
示器上消失。初始化 SWS 模块。
初始化过程完成后 SWS 就已准备就绪可以操作并处于待机状态。
5.4.2 关闭 SIPLACE CA
关闭 SWS
完成所有 SWS 模块中的工作进程。
在 SWS 计算机的 GUI 上选择 生产 -> 其他 视图。在那里点击红色的关闭按钮。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 5
在主开关处关闭 SWS。
如有需要，请为其他所有 SWS 模块重复这个操作。
关闭贴片机
关闭所贴片机中的当前进程。
关停工作站计算机。
关闭贴片机的主电源开关。
5.4.3 填充晶圆盘
用晶圆框重新装满晶圆盘。晶圆框的对中卡槽必须对着晶圆盘的开口。
5
请注意
为 5、6 或 7 英寸的晶圆使用晶圆框适配器时，请确保您仅使用每第二个卡槽。
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5.4.4 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中
打开晶圆盘升降机的推拉门，然后将晶圆盘放到托板上。晶圆的对中卡槽必须对准设备。请
确保晶圆盘已正确锁定。
图 . 5.4 - 1 插入晶圆盘
5
请注意
在插入晶圆框时，晶圆框里的凹槽必须对着馈入方向。
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5.4.5 为推送系统设置顶针配置
在 SWS GUI 中切换到手动操作 -> 晶圆处理视图，然后点击 前往更改位置按钮。晶圆台已被
移除。
在 SWS GUI 中，切换到手动操作 -> 晶粒处理视图，然后选择推送单元标签。
点击这个 按钮。晶圆台已被移除，晶粒推送器被向上移动，可以被访问。
5
正确关闭贴片机和 SWS。
5
打开 SWS 上方的保护盖。
打开对中单元的卡口锁然后将顶针套件取出。
5
图 . 5.4 - 2 带真空帽的顶针套件已被移除
图例
5
谨慎
损坏的危险！
当手动移动晶圆台时，被向上移动的推送系统可能与晶圆台发生碰撞而损坏。
不要手动推入晶圆台。
(1) 真空帽 (2) 平头螺丝
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