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1 .4 기판 클램 프 의 상 태와 동 작 확인 3-9 1 .4. 1 기 판 클램 프의 상 태 확인 3-9 1 .4.2 기 판 클램 프의 동작 확 인 3-9 2. 매 월 3- 1 0 2. 1 노즐 에 어경로 의 청소 3- 10 2. 2 각 축의 볼 스 크 류 및 가 이드 의 점검 3- 1 1 3. 2 개월 3- 1 2 3. 1 X, Y 축의 청소 와 급 유 3- 12 3. 1 . 1 X, Y…
KMM7177200
총목차
머리말
1. 각 장의 내용 i
2. 유지보수 항목일람 ii
제 1 장 유지보수에 대하여
1. 장비의 성능을 유지하기 위해서는 1-1
1.1 필수조건 및 환경조건 1-1
1.2 정기적인 점검과 청소의 중요성 1-2
2. 유지보수 작업의 준비 1-3
2.1 소모품과 교환부품 ( 고장시 ) 1-3
2.1.1 소모품 1-3
2.1.2 노즐 1-5
2.1.3 교환부품 ( 고장시 ) 1-7
2.2 유지보수 공구 1-8
2.2.1 클리닝 툴 1-8
2.2.2 급유 툴
•
구리스 1-10
2.2.3 스페셜 툴 1-12
2.3 필요공구 1-13
제 2 장 일상적인 유지보수 항목
작업하기 전에 2-1
1. 노즐상태의 확인 2-2
1.1 소프트웨어로 확인하기 2-2
1.1.1 노즐 해방시의 진공레벨 2-4
1.2 육안으로 확인하기 2-5
2. 피더 플레이트의 청소 2-6
3. 멀티 카메라 보호 글래스의 청소 2-7
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 3-1
1.1 노즐의 점검과 청소 3-1
1.1.1 노즐 탄성력의 확인 3-1
1.1.2 노즐 스프링의 청소와 급유 3-2
1.1.3 노즐 판스프링의 상태확인 3-3
1.1.4 노즐 선단부의 청소 3-4
1.2 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-6
1.2.1 그리퍼 노즐의 점검 3-6
1.2.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-6
1.3 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-8
1.4 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.4.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.4.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
2. 매월 3-10
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-10
2.2 각 축의 볼스크류 및 가이드의 점검 3-11
3. 2 개월 3-12
3.1 X, Y 축의 청소와 급유 3-12
3.1.1 X, Y, W 축 볼스크류의 청소와 급유 3-12
3.1.2 X, Y 축 가이드의 청소와 급유 3-14
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-15
3.3 기판 반송부의 점검 3-17
3.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-17
4. 3 개월 3-21
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-21
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-22
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-23
4.4 스플라인 샤프트 3-25
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-25
4.4.2 부압 상태의 확인 3-28
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-29
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-29
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-30
4.5 SC 축 플렉스 케이블의 확인 (YS12P) 3-31
4.6 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-32
5. 6 개월 3-34
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-34
5.2 스캔 카메라의 청소 (YS12P) 3-35
5.3 W 축의 청소와 급유 3-36
6. 1 년 3-38
6.1 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 3-38
6.2 블로우 스테이션 필터의 청소와 교환 ( 옵션 ) 3-39
6.3 노즐스테이션 센서의 상태확인 ( 옵션 ) 3-40
제 4 장 소모품의 교환방법
1. 노즐 4-1
1.1 노즐 선단부와 스프링의 교환 4-1
1.2 노즐 O 링의 교환 4-2
2. 노즐 판스프링의 교환 4-3
3. 이젝터부 4-5
3.1 이젝터 BIT 의 교환 4-5
3.2 솔레노이드 밸브의 교환 4-6
3.3 청소용 블로우 밸브의 교환 4-7
4. 컨베이어 벨트의 교환 4-8
제 5 장 급유개소 일람
1. 급유준비 5-1
1.1 적용 구리스 5-1
1.2 구리스건 5-1
2. 급유개소와 주기 5-2
2.1 X 축 5-2
2.2 Y 축 5-3
2.3 PU 축 5-3
2.4 W 축 ( 컨베이어 ) 5-4
2.5 Z 축 ( 스플라인 샤프트 ) 5-5
부록
1. 사양 A-1
1.1 에어압 조정부 A-1
1.2 전원 접속부 A-2
2. 보증에 대하여 A-3