YS12P_YS12F_Mainte_K.pdf - 第78页

3-13 3 3 볼스크류부를 청 소 합니 다 . 1 . 이동핸 들을 잡 고 각 축을 한 쪽 으로 이 동시 킵 니 다. 2. 볼스크 류 전 체 를 먼지 가 나 지 않는 종이 와 이 퍼 ( 크린 룸용 ) 로 오래 된 구리 스와 더러 움을 닦 습니다 . 3. 축을 반 대 쪽 으로 이 동 시켜 서 , 반 대 쪽 의 볼스 크 류 도 닦습니 다 . ( X 축 , Y 축 ) 57 311- L 6 - 0 …

100%1 / 129
3-12
3
3. 2
3.1 X, Y 축의 청소와
X, Y 하여 . 급유 ,「제 5 급유 일람」
주십 . , 구리 (NSL) 주십 .
c
주의
구리스의 사용에 관해서 ,전의 길잡이」및 제 1 2.2.2 급유
스」의 취급에 관한 주의사항을 읽어 주십시 .
c
주의
X, Y 축의 볼스크류 및 가이드에서 이음이 발생할 경는 판매 대리점 또는 야마하로 연해 주십시 .
자체인 분해 청소는 보해 드릴 수 없습니 .
3.1.1 X, Y, W 볼스청소와 급유
1
준비를 합니다 .
e
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2. 사양의 경우에 , 대차를 탈착합니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 합니다 .
X 축과 Y1, Y2 축의 구리산방커버탈착
주십시 .
X축
1. 십자 드라이버구리비산방커버 좌측의
고정나사리합니다 .
2. 키고 ,
드라이버구리비산방지 커버 우측의 고정
나사리합니다 .
3. 구리산방지 커버우측으로 당겨서 탈착
니다 .
57309 -L 6 - 00
참고
X 의 구스 비지 커를 장할 때 , 상의 반대
으로 작을 해 주십 .
Y1, Y2
1. 각렌치비산방커버 뒤쪽
볼트를 빼냅니다 .
2. 동시 , 구리산방
커버 앞쪽의 분리주십시 .
3. 구리산방지 커버앞쪽으로 당겨서 분리
니다 .
57310-L6-00
참고
Y 의 구리스 비지 커를 장할 때 , 상의 반대
으로 작을 해 주십 .
X축 구리스 비산방지 커버의 분리
십자 드라이버
Step 2
Y축 구리스 비산방지 커버의 분리
Y축 구리스 비산방지
커버
Step 2
Y축 구리스 비산방지
커버 고정볼트
Y축 모터
3-13
3
3
볼스크류부를 합니 .
1. 이동핸들을 축을 한으로 동시
다.
2. 볼스크먼지않는 종이
( 크린룸용 ) 오래구리스와 더러움을
습니다 .
3. 축을 으로 시켜 , 볼스
닦습니 . (X , Y )
57311- L 6- 0 0
c
주의
소 작시에는 볼스크류의 리홈 부분도 정성껏 닦아 주
십시 . 또한 , 이물질의 발생도 확인해 주십 .
4
구리스주입합니 .
X축
구리 ( 표준타입 노즐 ) 준비 , 구리
(1 군데 ) 부터 지정 구리스 (NSL) 주입
니다 .
Y축
구리 ( 표준타입 노즐 ) 준비 , 구리
(2 군데 ) 로부터 구리 (NSL) 주입
니다 .
축을 으로 움직 , 여분스를 닦아
십시오 .
57313 -L 6 -0 0
5
커버를 원상태로 장착합니 .
구리산방지 분리때와 반
으로 장착주십 .
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼 등으로 닦는다
X축
Y축
종이 와이퍼 등으로 닦는다
볼스크류의 구리스 주입
Step 4
X축 볼스크류부
구리스 니플
Y축 볼스크류부
구리스 니플(우)
Y축 볼스크류부
구리스 니플(좌)
X축
Y축
3-14
3
3.1.2 X, Y 이드의 청소와
1
준비를 합니다 .
e
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2. 사양의 경우에 , 대차를 탈착합니다 .
2
이드를 청소합니다 .
1. 한쪽으로 이동나서 ,
지가 나지 않는 종이 ( 크린
) 닦습니 .
2. 그다음에 , 축을 으로 동시켜서 ,
드도 닦습니 . (X , Y )
57314 -L 6 -0 0
c
주의
가이드 레일의 이동홈도 정성껏 닦아 주 .
3
구리스주입합니 .
X축
구리용해서 , X 가이구리
부터 지정 구리 (NSL) 주입합니 .
구리플은 , 유닛 뒤쪽좌우2 개씩
( 합계 4 군데 ) 있습니 . 2 종류의 구리플이
으므로 , 각각 준타입굽은타입 노즐을 바꿔
워서 입해 주 .
57315-L6-00
Y1, Y2
구리 , Y 드용 구리
부터 지정 구리 (NSL) 주입합니 .
구리플은 , Y
슬라이더 후에
습니 . ( 합계 4 군데 )
즐의 장착 , 구리플의 방향에 맞춥니 .
57316-L6-00
c
주의
Y 축의 전후 벤트형 구리스 니플에 주입 , 니플의 방향
에 맞추어 구리스 건의 노즐을 똑바로 밀어 부쳐서 급유해
주십시 . 각도가 어긋나면 니플이 파손되거나 헐거워
빠져릴 수가 있습니 . 신중게 주입해 주십시오 .
57317-M7-00
4
여분의 구리스를 냅니다 .
으로 축을 수차례 시킨 후 , 분의 구리
냅니다 .
가이드의 청소
Step 2
가이드레일 종이 와이퍼
X축 가이드의 구리스 주입
Step 3-1
구리스 니플(소)
구리스 니플(대)
Y축 가이드의 구리스 주입
Step 3-2
Y축 가이드부
구리스 니플
Y축 가이드부 구리스 니플 계 4군데