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2. 노즐 판스 프링의 교환 4- 3 3. 이젝터부 4- 5 3. 1 이젝터 BIT 의 교환 4-5 3.2 솔레 노이드 밸 브 의 교환 4- 6 3.3 청소용 블로우 밸 브 의 교환 4 - 7 4. 컨베이어 벨트 의 교 환 4- 8 제 5 장 급 유개소 일 람 1 . 급 유 준비 5- 1 1 . 1 적용 구리 스 5- 1 1 .2 구리스건 5- 1 2. 급 유개소 와 주기 5- 2 2. 1 …
1.4 기판 클램프의 상태와 동작확인 3-9
1.4.1 기판 클램프의 상태 확인 3-9
1.4.2 기판 클램프의 동작 확인 3-9
2. 매월 3-10
2.1 노즐 에어경로의 청소 3-10
2.2 각 축의 볼스크류 및 가이드의 점검 3-11
3. 2 개월 3-12
3.1 X, Y 축의 청소와 급유 3-12
3.1.1 X, Y, W 축 볼스크류의 청소와 급유 3-12
3.1.2 X, Y 축 가이드의 청소와 급유 3-14
3.2 PU 축의 청소와 급유 3-15
3.3 기판 반송부의 점검 3-17
3.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소 3-17
4. 3 개월 3-21
4.1 이젝터 필터의 청소와 교환 3-21
4.2 이젝터 진공압력의 점검 3-22
4.3
각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 동작확인 3-23
4.4 스플라인 샤프트 3-25
4.4.1 스플라인 샤프트 내부의 세정 3-25
4.4.2 부압 상태의 확인 3-28
4.4.3 스플라인 샤프트의 Z 축 동작확인 3-29
4.4.4 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-29
4.4.5 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-30
4.5 SC 축 플렉스 케이블의 확인 (YS12P) 3-31
4.6 에어 / 미스트 필터의 점검과 교환 3-32
5. 6 개월 3-34
5.1 피듀셜 카메라의 청소 3-34
5.2 스캔 카메라의 청소 (YS12P) 3-35
5.3 W 축의 청소와 급유 3-36
6. 1 년 3-38
6.1 R 축 스플라인 벨트의 상태확인 3-38
6.2 블로우 스테이션 필터의 청소와 교환 ( 옵션 ) 3-39
6.3 노즐스테이션 센서의 상태확인 ( 옵션 ) 3-40
제 4 장 소모품의 교환방법
1. 노즐 4-1
1.1 노즐 선단부와 스프링의 교환 4-1
1.2 노즐 O 링의 교환 4-2
2. 노즐 판스프링의 교환 4-3
3. 이젝터부 4-5
3.1 이젝터 BIT 의 교환 4-5
3.2 솔레노이드 밸브의 교환 4-6
3.3 청소용 블로우 밸브의 교환 4-7
4. 컨베이어 벨트의 교환 4-8
제 5 장 급유개소 일람
1. 급유준비 5-1
1.1 적용 구리스 5-1
1.2 구리스건 5-1
2. 급유개소와 주기 5-2
2.1 X 축 5-2
2.2 Y 축 5-3
2.3 PU 축 5-3
2.4 W 축 ( 컨베이어 ) 5-4
2.5 Z 축 ( 스플라인 샤프트 ) 5-5
부록
1. 사양 A-1
1.1 에어압 조정부 A-1
1.2 전원 접속부 A-2
2. 보증에 대하여 A-3
