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Fig. E1 Fig. E 1-2 1009-001
1009-001
Fig. E1
コプラナリティチェックユニット
(GS-IC100)
COPLANARITY CHECK UNIT(GS-IC100)
Fig. E1-2
架台上ユニット２
Upper Frame Unit 2
194
197
1A1
See Fig E3-3
1B2
1B2
(BASE:Document No. P-310-00X
UNIT-4 Fig.E1-2)
Fig. E1
Fig. E1-2
1009-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
194 221HA007 WASHER 2 20918010CQ-004
197 221HA107 WASHER 2 20918010CQ-007
1A1 221AA057 ROHS_HEX-SCT 2 20918010CQ-011
1B2 23N30738 ACCESS_WIRING(M 2 20918010CQ-022
Fig. E1-2
Fig. E1
1009-001
GS-IC100