松下NPM保养手册完整版-1.pdf - 第126页
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NPM-W2 EJM7DC-MB-03M-00
料架工作台盖的安装方法 2
3-3
-3
9
安装交换台车
(→P.3-2)
维修保养篇
3-3
/ 2
7
SERVO
ON
8
4
24
NPM-W2 EJM7DC-MB-04M-00
对供给压的检查进行说明。
工作
开始前
1
使用工具:不要 所需时间:3 分钟 (设备电源ON)
4-1-1
-1
维修保养篇
4-1-1
确认气压
前侧
后侧
真空泵供给压
(-100 ~ -87 kPa)
清扫吹气压
(0.13 ~ 0.14 MPa)
主气压
(0.500 ~ 0.505 MPa)
真空破坏压
(8~12kPa)
选购件气压
(0.4 MPa)