松下NPM保养手册完整版-1.pdf - 第127页

NPM-W2 EJM7DC-MB-04M-00 对供给压的检查进行说明。 工作 开始前 1 使用工具 : 不要 所需时间 :3 分钟 ( 设备电源 ON) 4-1-1 -1 维修保养篇 4 - 1 - 1 确认气压 前侧 后侧 真空泵供给压 (-100 ~ -87 kPa) 清扫吹气压 (0.13 ~ 0.14 MPa) 主气压 (0.500 ~ 0.505 MPa) 真空破坏压 (8~12kPa) 选购件气压 (0.4 MPa)