8800401-3F_VT-S730_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第54页
5 ． 日常检查 5-1 5. 日常检查 对本装置日常运行及使 用中的日常 检查 方法进行说 明。 运行及使用装置前务必 进行此项操作 。 5.1 上电前的检查 本装置上电前请务必进 行此项操作。 ■ 操作人员是否能 安全作业 ■ 机盖是否安装妥 当 确认机盖是否脱落、是 否有松动。并 请关闭正面门及机 柜门。 机盖的作用是在装置运 行及使用中 、避免高速运转给操作人员带来危险 。所以、 在运行及使 用装置时 请正确安装机盖。 注 意 …
4．日常运行
4-6
4.3 用手动阀排放活动挡板空气余压的方法
当发生异常时，通过开闭手动阀能够手动排放活动挡板的空气余压。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
打开着正面门作业时，请注意不要撞到门。
使用注意
正面门打开后，联锁装置开始工作。
装置运行中、除基板取出等必要情况之外请勿打正面门。
使用注意
偶尔会发生受伤危险,请不要接触到装置内部的零件。
使用注意
开关正面门时、顶部框架会前后滑动。
将头伸入装置内时，请注意不要撞到顶部框架。
1.
打开正面门。
2.
通过操作位于各活动挡板上部的 2 个手动阀，能够排放活动挡板的空气余压。
3.
操作后请将手动阀恢复原来的状态。
手动阀原来的状态 排放余压的状态
使用注意
通过操作阀门，活动挡板可上下动作。
请取掉活动挡板附近的基板后再进行作业。
使用注意
根据空气余压，有时需要多次操作。
使用注意
若没有将阀门恢复到原来的状态，在异常复位时会发生错误。
空气软管
调节栓
5．日常检查
5-1
5. 日常检查
对本装置日常运行及使用中的日常检查方法进行说明。
运行及使用装置前务必进行此项操作。
5.1 上电前的检查
本装置上电前请务必进行此项操作。
■ 操作人员是否能安全作业
■ 机盖是否安装妥当
确认机盖是否脱落、是否有松动。并请关闭正面门及机柜门。
机盖的作用是在装置运行及使用中、避免高速运转给操作人员带来危险。所以、在运行及使用装置时
请正确安装机盖。
注 意
偶尔会发生受伤危险。
开关正面门时，请务必双手握住把手将门开、关
到位，请不要将手指伸入内部。
■紧急停止开关的周围是否有障碍物。
确认紧急停止开关周围是否有阻碍操作的障碍物。
紧急停止开关是在发生紧急情况时紧急停止装置运行时使用。如果周围有阻碍操作的障碍物，将影响
紧急停止操作而引发事故，所以，请清除紧急停止开关周围的障碍物。
■装置周围是否整洁
确认装置周围是否有障碍物。
为了作业安全，请注意整理整顿装置周边环境。
5．日常检查
5-2
装置内部的检查
注 意
偶尔会发生受伤危险。
开关正面门时，请务必双手握住把手将门开、关
到位，请不要将手指伸入内部。
■装置内部是否有杂物、灰尘
确认装置内部是否有杂物及灰尘。
杂物及灰尘过多时可能导致装置误动作及引发故障，请用抹布清除干净。
■装置内部是否有异物
确认装置内部是否有基板、工具等异物。
在装置内部残留有异物情况下运行或使用、可能导致本装置故障，发现有异物后请及时清理。
■传送带是否有破散，划伤，跑偏脱落
确认本装置内的传送带是否有破散，划伤，跑偏脱落情况。
因传送带如果有约 15mm 以上的破散时，有发生搬送错误的可能性，请用斜口钳等工具将破散部
分剪切成 1mm 以下。如果传送带有划伤或跑偏脱落情况，是不能正常的搬送电路板的。如有此类
问题，请参照 P6-4「6.2 传送带的更换与调整」，更换传送带。
破散・・・传送带侧面剥落的芯线
传送带
请将破散部分剪切成
1mm 以下
破散