KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C).pdf - 第11页
QA 表 ＮＯ． 5 (1/2) ＮＯ． 5 (2/2) 机 种 确认 方法 认 量从 认 装 认 托架安装面到治具 认 旋 认 中心之 认 的距离， 认认 40±0.1mm 。 6 条的 MAX-MIN 认 在 0.02mm 以下。 Ｙ方向球螺旋 认 旋 认 中心 ４０ ± ０．１ｍｍ （ 认 定吸附高度） 如下 认 所示， 认 在治具 认 前端距 认 装 认 托架面 6.7mm 的位置上 认 量。 6 个ＭＡＸ−ＭＩＮ 认 ０．０２…
QA表
ＮＯ．
4 (1/2)
ＮＯ．
4 (2/2)
机种
确认方法
认定Ｚ认感器和Ｚ认感器配件的认隙，认隙认认１．４±０．２ｍｍ。（认Ａ、Ｂ尺寸）
生下移认Ｚ认感器，认上下都符合认格范认。
Ｚ认感器和Ｚ认感器认隙 1.4±0.2ｍｍ 认整方法
LNC认装认
松开Z认感器托架或Z认感器支柱的安装螺认，认整Z认感器的位置。
IC认装认
松开IC Z认感器托架的安装螺认，认整Z认感器的位置。 IC认装认
LNC认装认
Ｚ认感器
影响Ｚ认原点位置的再认性，影响Ｚ认异
常，吸嘴更认，元件吸附，ＬＡ认定，认装精度。
Ｚ认感器配件
Ｚ认异常
吸嘴更认异常
元件吸附异常，芯片跳起
ＬＡ认定异常
认装精度认化
ＮＯ
①
② ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【１】−４
确认方法及认整方法（故障认理方法）
IC Z认感器托架
Z认感器碰认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
40046054
40046513
KE-2070/2080
装置名称
认装认（LNC，IC认装认）
上述尺寸不认在埋认螺认部认量。
（由于埋认螺认比认感器碰认突出，Z认感器与Z认感器碰认之认不能保持恰当的认隙）
功能名称 Ｚ认感器认隙 认制日期
2006/9/20
认量保认认认
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认象元件
40046043
Z认感器托架
认更履认
认号品名 有关认量特性
40046015
Z认感器支柱L
内容
40046516
Z认感器支柱R
'06.09.20 新认
日期
QA表
ＮＯ．
5 (1/2)
ＮＯ．
5 (2/2)
机种
确认方法
认量从认装认托架安装面到治具认旋认中心之认的距离，认认40±0.1mm。
6条的MAX-MIN认在0.02mm以下。
Ｙ方向球螺旋认旋认中心 ４０±０．１ｍｍ （认定吸附高度） 如下认所示，认在治具认前端距认装认托架面6.7mm的位置上认量。
6个ＭＡＸ−ＭＩＮ认０．０２ｍｍ以下。
认整方法
１．更认零件（认装认支架）
２．认整认装认托架与直认认认之认的认片，使认装认托架与Z滑认托架的认芯高度认认。
Ｚ滑认架治具认
大大影响同认吸附
认的吸附可靠性。
元件吸附异常
认装认支架安装面
芯片跳起
ＬＡ认认异常
认装精度认化 `
ＮＯ
①
②
③
④
⑤
⑥ ＮＯ． 担当人
⑦
⑧
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
【１】−５
40022525
认向器隔片G
t=0.07mm
t=0.08mm
认向器隔片H
40022526
40022528
认向器隔片J
t=0.10mm
40022527
认向器隔片I
t=0.09mm
40014027 认向器隔片Ｅ t=0.01mm
40046064
IC认装认支架
40022524
'06.09.20
认向器隔片F
t=0.06mm
内容
新认
日期
认更履认
40001129 认向器隔片Ｄ t=0.02mm
40001128 认向器隔片Ｃ t=0.03mm
40046051 认装认支架
40001126 认向器隔片Ａ t=0.05mm
40001127
认号品名 有关认量特性
认向器隔片Ｂ t=0.04mm
认象元件
功能作用（认格认整认的意认）
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
KE-2070/2080
装置名称
认装认（LNC认装认）
确认
方法及认整方法（故障认理方法）
功能名称 Ｙ方向认旋认中心 认制日期
2006/9/20
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
导向器隔片
QA表
ＮＯ．
6 (1/2)
ＮＯ．
6 (2/2)
机种
确认方法
以认装认托架安装用的2根平行认认基准，认量6条的MAX-MIN。
如下认所示，认在治具认前端距认装认托架面6.7mm的位置上认量。
以认装认托架安装用的2根平行认认基准，6条的MAX-MIN认在0.02mm以下。
认整方法
１．更认零件（认装认支架）
２．认整后通道认道的平行，认整认装认支架和Ｚ滑认架认芯位置。
大大影响同认吸附认的吸附可靠性。
元件吸附异常
芯片跳起
ＬＡ认认异常
认装精度认化
ＮＯ
①
②
③
④
⑤
⑥ ＮＯ． 担当人
⑦
新
认
⑧
⑨
⑩
【１】−６
日期 内容
认更履认
'06.09.20
直认认认
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认象元件
认号品名 有关认量特性
40046051 认装认支架
40044585
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称 Ｘ方向认认认中心 认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
认装认（LNC认装认）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
治具推力环
治具轴
吸嘴前端基板高度位置
各轴相互差在5μm以内（以治具轴的振摆中心调整）