KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C).pdf - 第77页
QA 表 ＮＯ． 机 种 １．把 认认认 尺安装到 认 装 认 的ＯＣＣ 认 像机支架，在下列 认认认 的中央附件 认 定，把它 认认 整到 认 格 认 。（４ 认 ） １．ＢＵ台的上面平面度 ０．０２ｍｍ ２． 认 道 认 向 认 和 认 臂的芯一致 ４ｍｍ ±0.5mm （ 认 示的尺寸） 认 松固定螺 认 ， 认认 中央的 认认 螺 认 ＢＵ台的高度可以 认 化。 ※ 认认 螺 认认 松后，球螺 认 有可能脱落，作 认认认 注意。…
QA表
ＮＯ．
机种
１．向音波式皮认认力认认入认定的数认，放到下列的位置认行认定。
认整认，认认松认力架认件的固定螺认，移认认整。
１．ＢＵ认认用同步皮认认力
４２．５Ｎ±2.5N
Weight=002.5
Width=009.0
Span=0097
（Ｌ尺寸 Span=0170)
※本认是从背面看的认。
１．认认ＢＵ认达的认认力，认ＢＵ台上下移认。
１．ＢＵ台上下不认作。认生异常声音。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【８】−１７
17
KE-2070/2080
装置名称 认送 确认方法及认整方法（故障认理方法）
功能名称 基板认认认作的认定（ＢＵ台的上下） 认制日期
2006/9/20
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认）
功能作用（认格认整认的意认）
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认象元件
认更履认
认号品名 有关认量特性
内容
'06.09.20 新认
日期
測定位置
測定位置
弱
強
QA表
ＮＯ．
机种
１．把认认认尺安装到认装认的ＯＣＣ认像机支架，在下列认认认的中央附件认定，把它认认整到认格认。（４认）
１．ＢＵ台的上面平面度
０．０２ｍｍ
２．认道认向认和认臂的芯一致
４ｍｍ±0.5mm（认示的尺寸）
认松固定螺认，认认中央的认认螺认
ＢＵ台的高度可以认化。
※认认螺认认松后，球螺认有可能脱落，作认认认注意。
※认行BU台的平整度认整认，在BU台位于-27mm的状认下手认操作。（03.02.12.追加）
２．认定认最大认度认，认道认向器和认架的芯认认整一致。
认松
认架固定螺认，把Ａ尺寸认整成认格认。
１．认ＢＵ台上下移认。
生认基板的认认认定
２．生认基板的认认认定
１．认荷增加，妨碍ＢＵ台的上下移认。
认生异常声音
基板认认不认定（根据位置）。
２．基板认认尺寸不同情况不同。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【８】−１８
18
KE-2070/2080
装置名称 认送 确认方法及认整方法（故障认理方法）
功能名称 基板认认的认定（ＢＵ台的平面） 认制日期
2006/9/20
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认）
功能作用（认格认整认的意认）
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认象元件
认更履认
认号品名 有关认量特性
内容
'06.09.20 新认
日期
固定ねじ（３ヶ所）
調節ねじ（中央）
サイドビーム止めねじ
侧架固定螺
丝
固定螺丝(3处)
调节固定螺
丝
QA表
ＮＯ．
机种
１．认松②螺认，认整①的凸量（Ａ尺寸）。
１．认送认道ＦＣ、ＲＣ到认道认向认的凸量
认送认道ＦＣ、ＲＣ上面到认道认向认前端（下端面）的距离Ａ： ９０ｍｍ±0.1mm
※但是，此认示大认认,根据认送上面的高度或ＢＵ台的平面度，采用「２」（下面）的作认认行认更。
２．认送高度偏差认整认的认送认道ＦＣ、ＲＣ两端的松认
０．１ｍｍ以内
２．把认送认道认度认更认最大尺寸
「机器安装」→「ＭＳ参数」→「偏差认定」→「认送偏差」→「支撑台偏差」
认演示，慢慢上升ＢＵ台。
以认送认道ＦＣ、ＲＣ的各两端部(４认）中的一认没有松认（手感）认基准，确认画面上的ＢＵ台
高度的数认（Ｂ）。
从上述位置，认演示，上升ＢＵ台，认４认都没有松认，基准的数认（Ｂ）可以增加０．１ｍｍ以内
(按「ENTER」，保存最上升位置的认）。
超认０．１ｍｍ的认，从画面上确认哪个位置凹，用「１」的方法认更Ａ尺寸的数认。
１．基板认认的前后左右认入量的认整
２．与「１」相同。
１．基板四角的认认量（认入量）不一致。
认认好的部位→
认生松认认装不认定。 认认认→认认认力集中，有认坏基板等危认。
２．与「１」相同。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【８】−１９
19
KE-2070/2080
装置名称 认送 确认方法及认整方法（故障认理方法）
功能名称 基板认认的认定（上限高度的认定） 认制日期
2006/9/20
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认）
功能作用（认格认整认的意认）
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认象元件
40000812 RAIL_GUIDE_SHAFT
认更履认
认号品名 有关认量特性
内容
'06.09.20 新认
SM8040602TP SCREW
日期