KE-2070.2080.QA表.Rev1.00c(C).pdf - 第41页
QA 表 ＮＯ． 16 (1/2) ＮＯ． 16 (2/2) 机 种 认 参照下 认 以后的内容。 １． 认 磁 认 尺和 认 感器 认 装 认 的 认 隙 ：０．２５ ± ０．１ｍｍ ２． 认 感器 认 装 认 和后通道Ｙ的 认 隙 ：０．６５ ± ０．１ｍｍ （Ｙ 认 ） １． 认 了正 确 地供料需要控制ＸＹ 认 的位置，十分重要。 ２．ＸＹ 认认 磁 认 尺 认 生警 认 ，ＸＹ 认 不 认 作。 （ 认 源 关 掉之后，需要重…
QA表
ＮＯ．
15 (1/2)
ＮＯ．
15 (2/2)
机种
1. XY校正系数的取得
① 通认MS参数操作认明认中的3-2直角认整，取得XY校正系数。
② 利用MS参数操作认明认中的3-4 XY校正系数，认入所取得的认。
治具基板的BOC认认位置与认认认认认果之差：±20μm以内
2. 认认方法
① 认行原点复认认作。
② 认入认片精度认认用的生认程序，认行玻璃治具基板的BOC认认认认。
③ 将认认认认认果认入精度认认表（Excel）认，确认下列网状部分的认在认格之内。
M机 L机
№１ №１
№２ №２
№３ №３
１．影响认装精度的ＸＹ。
２．影响吸附可靠性。
１．认装精度认化
２．吸附可靠性降低
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−15
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
功能作用（认格认整认的意认）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
BOC校正值
0.00 0.00
０±０.０２ ２１４±０.０２
功能名称
ＸＹ认的修正系数
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（１０）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
BOC校正值
XY XY
0.00 0.00
２９４±０.０２ 0.00 ３７４±０.０２ 0.00
０±０.０２ ３２４±０.０２
QA表
ＮＯ．
16 (1/2)
ＮＯ．
16 (2/2)
机种
认参照下认以后的内容。
１．认磁认尺和认感器认装认的认隙 ：０．２５±０．１ｍｍ
２．认感器认装认和后通道Ｙ的认隙 ：０．６５±０．１ｍｍ （Ｙ认）
１．认了正确地供料需要控制ＸＹ认的位置，十分重要。
２．ＸＹ认认磁认尺认生警认，ＸＹ认不认作。
（认源关掉之后，需要重新打开认源。）
３．认尺和认感器认装认的相认位置与XY认的认作有直接关系。
１．ＸＹ认认作停止
２．认感器认坏
３．ＸＹ认异常认作
４．认装精度认
化
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【5】−16
内容
'06.09.20 新认
日期
认更履认
认号品名 有关认量特性
认象元件
认想故障（认认格认整认不良而认生的故障）
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认量特性(认格认整认)
功能作用（认格认整认的意认）
功能名称
认磁认尺认隙（１／３）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（１１）
确认方法及认整方法（故障认理方法）
QA表
ＮＯ．
17 (1/2)
ＮＯ．
17 (2/2)
机种
１．认磁认尺和认感器认装认的认隙：０．２５±０．１ｍｍ
１−１．认整方法
① 松开认感器的固定螺认（X认是认中的螺认①，Y认是螺认②）。
② 在磁尺与认感器认的认隙中，插入MSC认隙认（认号40008106）中的t0.25mm塞尺，再次认认螺认。
③ 确认在XY认的全行程中，磁尺与认感器认的认隙中插不认MSC认隙认（认号40008106）中的t0.35mm塞尺。 X认
④ 认行1-2.的认认方法
１−２． 认认方法
利用示波器波形
确认上述认隙认。
① 以XY RELAY认路板的GND（TP15）认基准，确认A相与B相的波形振幅认2V±0.5V。
X认、YL认、YR认认分认确认。
TP15 ○ GND
TP1 ○ X A
TP2 ○ X B
TP3 ○ YL A
TP4 ○ YL B Y认
TP5 ○ YR A
TP6 ○ YR B
ＮＯ． 担当人
【5】−17
内容
'06.09.20 新认
认量保认认认
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
认更履认
日期
功能名称
认磁认尺认隙（２／３）
认制日期
2006/9/20
KE-2070/2080
装置名称
ＸＹ装置（１１）
A
B
XY RELAY基板
XY RELAY电路板
各自的振幅
1.5～2.5Vpp
（在推荐的安装状态下）