KE-2070-2080保守(Maintenance Guide).pdf - 第69页
Rev1.00c 维修调整要领书 危险 为了防止突然的起动发生事故，请关掉电源之后再进行操作。 3 贴装头周边 3-1． 推顶器的更换 降低主体的原压力，进行更换 。 电磁阀、压力传感器 因为插头类型的不同，请不要连接 错误，更换后请用手动控制的贴装 头真空和鼓 风装置 ＯＮ／ＯＦＦ 进行确认 。 注 ） 请不要弄丢电磁阀的里面有油封、压力 传感器的 Ｏ 形环等零件 。 真空传感器 电磁阀 更 换消音器 推顶器单体 （ 左 ： 正面 ／…
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维修调整要领书
2-8．更换后重新调整项目一览
激光偏差 贴装头偏差 贴装综合偏差 ＶＣＳ摄像机偏差 ＶＣＳ综合偏差
贴装头组件 ○ ○ ○ ○(注 1) ○(注 1)
Z 马达 ○
θ马达 ○ ○（注 1） ○（注 1）
Z 传感器 ○
LNC60 ○ ○ ○
触点传感器 ○
贴装头提升气缸
同步皮带 Z ○
同步皮带θ ○
Z 滑动轴 ○ ○ ○
（注1） 只有 KE2080 及带 MNVC 选项的机器需要
ＭＳ参数请从左边按顺序输入。
更换贴装头装置组、Z 马达、同步皮带 Z 后进行激光偏差输入时，请将激光偏差的基板上面高度值置
为 0 之后重新取得。如果仍是更换前的偏差值，有些情况下可能不能正确取得偏差或不能自动取得。
注意
为了防止伤害人体，HOD 操作中请不要把手伸进机器，也不要把脸和头靠近机
器。
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危险 为了防止突然的起动发生事故，请关掉电源之后再进行操作。
3 贴装头周边
3-1．推顶器的更换
降低主体的原压力，进行更换。
电磁阀、压力传感器因为插头类型的不同，请不要连接错误，更换后请用手动控制的贴装头真空和鼓
风装置ＯＮ／ＯＦＦ进行确认。
注） 请不要弄丢电磁阀的里面有油封、压力传感器的Ｏ形环等零件。
真空传感器 电磁阀
更换消音器 推顶器单体（左：正面／右：侧面）
图 3-1-1 更换推顶器
推
顶
器过滤器
真空破坏用电磁阀
圆头小螺丝（×2）
垫圈
真空用电磁阀
圆头小螺丝（×2）
垫圈
真空传感器
圆头小螺丝（×2）
O 形环
消音器护罩
圆头小螺丝（×1）
消音
器
圆
头
小螺丝(×2)
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3-2．坏标记传感器的更换
3-2-1．传感器部
图 坏标记传感器的更换
光学纤维镜
头
垫片
螺母
HMS 托架
螺母
M3×6cap（×2）
KE-2080
安装位置
KE-2070
安装位置
BM 架
光学纤维使用附属的螺母、垫片，固定为图示尺寸后，安装广角镜头。
3-2-2．传感器高度的调整
Cａｐ
BM 镜头架
CALﾌﾞﾛｯｸ
上面
CAL 部
上部
把坏标记传感器向CAL部上移动，把坏标记传感器面和CAL部上
面的距离调整为 28
0
+05
mm，拧松ｃａｐ（２处），移动BM镜头架，调整
到规定值。
调整后，请用ｃａｐ固定好。
安装后，输入 MS 参数中的坏板标记传感器偏差。
（输入请参照ＭＳ参数。）
注意
为了防止对人体的伤害，ＨＯＤ操作时请不要把手伸到装置内部，也不要把脸和
头靠近装置。
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