YSM10_Mainte_K.pdf - 第101页
3-34 3 0 벨 트의 장착 상태를 확인합니다 . 1 . 기판 클램 프 보드의 상 면의 위치 가 벨 트 상면 보 다 약 0.5 mm 낮은 위치 에 있 는 지 확인해 주 십시오 . 2. 장비의 안전 커 버 를 닫 고 , 비상정 지 상태를 해제합 니다 . 3. [ 장치 ] - 「컨베 이 어 」 화면의 [ 컨베 이 어 구동 ] 버 튼 으로 벨 트 를 회전 시켜 서 동작상 태 를 확인 하 여 주십…
3-33
3
7
벨트 가이드부와 풀리를 청소합니다 .
1. 벨트 가이드와 센서부 등에 부착된 벨트의
마모 가루는 버큠 ASSY( 옵션 ) 로 흡인해
주십시오 .
2. 풀리 외주면에 벨트의 마무가루가 부착되어
있을 경우에는 , 플라스틱 헤라로 제거합니다 .
3. 벨트 가이드부에 마모가루가 들어가 있을 경우
에는 , 브러시 등으로 제거해 주십시오 .
57345-KMG-00
c
주의
헤라와 브러시를 사용할 때에는 , 풀리나 가이드에 상처내지 않도
록 , 주의해 주십시오 .
c
주의
현저한 더러움 이외에는 용제 (IPA 등 ) 를 사용하지 마십시오 .
용제를 사용해야 할 경우에는 , 풀리의 베어링부에 용제가
튀지 않도록 주의해서 청소해 주십시오 .
8
벨트를 원상태로 되돌립니다 .
1. 벨트를 풀리에 임시로 걸어 둡니다 .
2. 텐션 풀리를 Step4 에서 마킹한 위치까지
이동시키고 고정볼트를 체결합니다 .
3. 벨트가 느슨할 경우에는 , 텐션 풀리의 위치를
조정해서 벨트의 텐션을 걸어 주십시오 .
57346-KMG-00
n
요점
본 장비의 컨베이어 벨트의 텐션 규격은 520~580Hz 입니
다. 필요에 따라 텐션 조절기를 사용해서 조정해 주십시오 .
연장 컨베이어 사양의 경우에도 텐션 규격은 같습니다 .
c
주의
텐션 풀리의 고정 볼트 체결 토르크는 5.5N
•
m 입니다 .
심하게 조이지 않도록 주의해 주십시오 .
9
기판 클램프 보드를 장착합니다 .
1. 기판 클램프 보드를 원위치에 장착하고 육각
렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정 볼트를
체결해 주십시오 .
2. 푸쉬업 플레이트상에 깔아둔 사각건을 정리합
니다 .
57362-KMG-00
벨트 가이드부와 풀리의 청소
Step 7
플라스틱 헤라
벨트 가이드부
벨트의 마모가루 부착
브러시
풀리 외주면
벨트 가이드부
풀리 외주면
텐션측정 장소
Step 8
텐션측정 장소
기판 클램프 보드의 장착
Step 9
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드의 고정볼트
3-34
3
0
벨트의 장착 상태를 확인합니다 .
1. 기판 클램프 보드의 상면의 위치가 벨트 상면
보다 약 0.5mm 낮은 위치에 있는지 확인해
주십시오 .
2. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
3. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어 구동 ]
버튼으로 벨트를 회전시켜서 동작상태를 확인
하여 주십시오 .
4. 컨베이어 벨트의 회전이 고르지 못하거나 벨트
가 느슨할 경우는 , 텐션 풀리의 위치를 다시
조정해 주십시오 .
58307-KMG-00
c
주의
벨트의 상면과 기판 클램프 상면의 높이에 거의 차이가 없으면 ,
기판 반송에러가 발생할 가능성이 있습니다 .
그럴 경우에는 , 야마하 또는 대리점으로 연락해 주십시오 .
벨트의 장착상태 확인
Step 10
[컨베이어 구동] 버튼
0.5 mm
기판 클램프 보드
벨트 상면
기판 클램프 보드
컨베이어 벨트
<컨베이어 동작확인>
좌 우
저속 좌 저속 우
3-35
3
5.3 기판 반송부의 W 축
여기에서는 , 기판 반송부의 W 축의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,
「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
5.3.1 W 축 볼스크류 /6 각 스플라인의 청소와 급유
1
컨베이어를 최대폭으로 합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최대폭
을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
58308-KMG-00
참고
컨베이어의 최대폭은 표준사양으로 460mm 이며 ,
sATS15 를 겸비하고 있을 경우는 , 360mm 입니다 .
2
볼스크류와 6 각 스플라인을 청소합니
다.
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 볼스크류와 6 각 스플라인 ( 각 2 개 ) 전체를
먼지가 발생하지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸
용 ) 등으로 오래된 구리스나 더러움을 제거합
니다 .
57347- K MG-00
n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드 홈도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인합니다.
3
컨베이어를 최소폭으로 합니다 .
1. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
3. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최소폭
(50mm) 을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
4
나머지 부분을 청소합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. Step2 에서 청소한 나머지 다른 부분을 종이
와이퍼로 닦아냅니다 .
57348-KMG-00
컨베이어 폭의 변경
Step1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어의 최대폭을 입력
볼스크류와 6각 스플라인의 청소
Step 2
종이 와이퍼
볼스크류
6각 스플라인
나머지 부분의 청소
Step 4
나머지 부분을 닦아낸다