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3-30 3 5 청소 준 비를 합 니다 . 1 . 청소 할 헤 드의 밑에 종이컵 또는 헝 겊 등을 깔아 놓습니다 . 2. 클리 닝 키트내 에 에 탄올을 넣습 니 다 . 6 스 플라인 샤프 트 내부 를 세 척합니다 . 1 . 스플라인 샤프트에 클리 닝 키 트의 노즐을 삽 입 합 니다 . 2. 에 탄올을 주 입 해서 스플라인 샤프트의 에어 경 로를 씻어 내 립니 다 . 57 3 41- K M G…

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3
5. 1 년
이 항목에서는 1 년에 한 번을 기준으로 실행하는 유지보수 작업에 대해서 설명합니다 .
5.1 헤드 유닛
5.1.1 스플라인 샤프트내의 청소
주위환경의 상황이나 장비의 가동상황에 따라 달라집니다만 , 일반적으로 1 년에 한 번을 기준으로 스플라인
샤프트내의 청소를 실시할 필요가 있습니다. 다음과 같은 순서대로 실시해 주십시오 .
n
요점
이 항목은 HM 헤드 유닛을 예로 들어서 설명합니다만 , HM5 헤드 유닛의 경우도 작업순서는 같습니다 .
1
노즐 스테이션에 노즐을 수납합니다 .
1. [ 장치 ]-「헤드」화면의 [ 노즐변경 ] 버튼을
누릅니다 .
2. 「노즐변경」대화창에서 헤드번호는「ALL」,
노즐 타입은「노즐수납」을 선택합니다 .
3. [OK] 버튼을 누르면 모든 헤드의 노즐이 노즐
스테이션에 수납됩니다 .
5830 5-KMG-00
n
요점
노즐 스테이션이 없을 경우는 , 비상정지 버튼을 누르고
헤드로 부터 수동으로 노즐을 탈착해 주십시오 .
2
헤드 유닛을 이동합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을
받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
3. 헤드 유닛을 앞쪽으로 이동시킵니다 .
3
에어 호스와 메인터넌스 볼트를 분리합
니다 .
1. 일자 드라이버 또는 스패너를 사용해서 메인터
넌스 볼트를 분리합니다 .
2. 에어 커넥터로부터 에어 호스를 뺍니다 .
57339-KMG-00
4
Z 축을 고정시킵니다 .
우측 그림과 같이 샤프트를 Z 축 리니어 스케일이
보이지 않는 위치로 하고 , Z 축 고정용 구멍에
육각렌치를 끼워서 고정시켜 주십시오 .
57340-KMG-00
n
요점
헤드 주변에 케이블 등이 있어서 , 육각렌치를 끼우기 힘들
경우는, 육각렌치 대신에 와이어(Φ 2.5mm 미만 ) 등을
사용해서 Z 축을 고정시켜 주십시오 .
노즐의 수납
Step1
[노즐변경] 버튼
에어호스와 메인터넌스 볼트의 분리
Step 3
메인터넌스 볼트
에어 호스
에어 커넥터
Z축의 고정
Step 4
육각렌치
φ2.5mm
Z축 고정용 구멍

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3
5
청소 준비를 합니다 .
1. 청소할 헤드의 밑에 종이컵 또는 헝겊 등을
깔아 놓습니다 .
2. 클리닝 키트내에 에탄올을 넣습니다 .
6
스플라인 샤프트 내부를 세척합니다 .
1. 스플라인 샤프트에 클리닝 키트의 노즐을 삽입
합니다 .
2. 에탄올을 주입해서 스플라인 샤프트의 에어
경로를 씻어 내립니다 .
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c
주의
클리닝 키트의 선단은 반드시 25mm 이상 삽입해 주십시오 .
삽입이 불충분하면 , 패킹에 에탄올이 흘러 들어 갑니다 .
7
스플라인의 에어 경로를 블로우합니다 .
1. 에어블로우 툴 ( 옵션 구입품 ) 을 장비의
좌우에 있는 에어 커넥터에 접속합니다 .
2. 에어가 새지 않도록 에어 호스를 뺀 부분을
손가락으로 막고 , 스플라인 샤프트 안을 에어
블로우합니다 .
3. 스플라인 샤프트의 선단부에서 더러움이
나오지 않음을 확인합니다 .
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n
요점
스플라인 샤프트로부터 흘러 나오는 에탄올이 깨끗해 질 때까
지 Step6~Step7 의 작업을 반복해 주십시오 .
8
헤드를 원상태로 합니다 .
1. 메인터넌스 볼트를 장착합니다 .
2. 에어 커넥터에 에어호스를 끼우고 , 탈착한
노즐을 원위치에 되돌립니다 .
3. Z 축을 고정하고 있는 육각렌치 ( 또는 와이어
등 ) 를 뺍니다 .
25mm
이상
스플라인 내부의 청소
Step 6
에탄올
클리닝 키트
종이컵 또는 헝겊
에어 경로의 블로우
Step 7
여기를 손가락으로 막는다
에어 블로우 툴

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3
5.2 컨베이어
5.2.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드
•
풀리의 청소
벨트 반송면의 마모가 심해지면 , 미끄러짐이 발생해서 기판의 반송이 안정되지 않게 됩니다.
따라서 정기적으로 마모상태를 확인할 필요가 있습니다.
그리고 , 컨베이어 센서의 수광면에 마모 가루가 쌓이면 기판 오검출 등의 트러블이 발생할 가능성이 있으며 ,
벨트의 가이드부나 풀리의 외주부에 마모 가루가 쌓이면 벨트가 고착될 우려가 있습니다.
1
컨베이어 폭을 작업하기 수월한 너비로
변경합니다 .
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을 누르면 ,「컨베이어폭
변경」화면이 표시됩니다 .
2. 「변경후의 컨베이어 폭」에 공구 ( 육각렌치가 )
가 들어갈 정도의 수치(200mm)를 입력하고 ,
[OK] 버튼을 눌러 주십시오 .
컨베이어가 지정된 폭으로 변경됩니다 .
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2
작업 준비를 합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 사각건을 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
3
기판 클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정볼트
( 우측 그림의 4 군데 ) 를 빼서 기판 클램프 보드를
떼어내 주십시오 .
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c
주의
우측 그림의 볼트 4 개 이외는 풀거나 빼지 마십시오 .
컨베이어 폭의 변경
Step 1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어 폭의 입력
기판 클램프 보드의 탈착
Step 3
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드의 고정볼트