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第 5 章 维护 篇 5- 2. 保养检查 40 关于真空 泵维护 真空压力降低有时是真 空泵消耗品的 磨损所致。 必要的部件 品号 品名 数量 备注 40138045 真空泵维护套件 1 大致更换周期 : 1 年 磨损部件的更换方法 【作 业步骤】 请拆下左侧面的护盖再 进 行作 业。 如果左侧面的护盖拆不 下来，请将机 器正面的护盖 拆下，再进 行作 业。 1. 拆下机器正面的护盖 1. 将台车 拉出 ， 关闭 机器的电源。 请将总…
第
5
章 维护篇
5-2.
保养检查
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5
7.
电池的更换完成后，按画面上的
[
交换
完毕]。
8.
按
[
交换到新电池
]
，使装置复位。
9.
变为电池交换画面后，确认“电池更
换日期”，按[关闭]结束。
第
5
章 维护篇
5-2.
保养检查
40
关于真空泵维护
真空压力降低有时是真空泵消耗品的磨损所致。
必要的部件
品号
品名
数量
备注
40138045
真空泵维护套件
1
大致更换周期
: 1
年
磨损部件的更换方法
【作业步骤】
请拆下左侧面的护盖再进行作业。
如果左侧面的护盖拆不下来，请将机器正面的护盖拆下，再进行作业。
1. 拆下机器正面的护盖
1.
将台车拉出，关闭机器的电源。
请将总断路器也关断。
2.
拧下
6
处的螺丝，拆下左右护盖。
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章 维护篇
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保养检查
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2. 拆下真空泵
1.
拔下总气管。
拆下装置背面的护罩（螺丝
6
处），
请拔下总气管。
3. 拆下连接器等
拔下右图红圈处的连接器。
4. 拉出真空泵
拆下固定真空泵支架的
2
处螺丝，
拉出真空泵。
螺丝要重新使用，请勿遗失。