RX-8_使用说明书.pdf - 第68页
第 3 章 导入篇 3- 1. 安装 6 (a) 锁定用螺母 (b) 脚的六角螺母 (c) 脚 3 使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确 保 X 轴和 Y 轴的水平仪显示的水平度在 0.05mm 以下（ 1 刻度为 0.02mm 的水平仪为 2 刻度以下， 1 刻度为 0.05mm 的水平仪为 1 刻度以下）。 下降 上升
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
5
3
3-1-3.
安装
RX-8
根据导入的安装系统生产线的基板搬送规格，调整本机的基板搬送面和搬送高度。
本机单机的基板搬送规格如下所示。
1
取下固定本机器后部盖罩的带十字孔的扁头结合螺丝×
7
，在水平仪设置空间的
X
方向和
Y
方向各放置一个水平仪。
2
为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部
4
个脚的六角螺母来调
整基板搬送高度。
向右旋转为上升，向左旋转为下降。
注意
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
65mm
。
基板传送高度度
900 mm
基板传送面：本机正面侧的
输送带上面
+30
-10
水平仪
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
6
(a)
锁定用螺母
(b)
脚的六角螺母
(c)
脚
3
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保
X
轴和
Y
轴的水平仪显示的水平度在
0.05mm
以下（
1
刻度为
0.02mm
的水平仪为
2
刻度以下，
1
刻度为
0.05mm
的水平仪为
1
刻度以下）。
下降
上升
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
7
3
3-1-4.
取下固定托架
导入本机时，使用六角扳手套件，将固定
XY
轴移动部分的托架，以及固定支撑台的移动部分托架卸下
来。
警告
如果不把固定移动部分的托架全部拆掉，则有造成本机损坏，导致
人身事故的危险性。
切断固定
Z
轴的电缆绑带。
(2
处
)
切断固定
Z
轴的电缆绑带，请取下
Z
轴上部的气泡包装膜。