JUKI_KE-2070-2080_MAINTE_CH.pdf - 第155页
维修调整要领书 10 -8 ○更换 O 圈 S-67 １） 按更换密封垫圈的要领，卸下泵头罩盘。 ２） 把气缸上部的 O 圈 S-67 换上新的。 ３） 固定泵头罩用的 M5 × 20 ，以 5.0N ・ m 対角拧紧。 ○更换 O 圈 P-10 １） 按更换密封垫圈的要领，卸下泵头板。 ２） 连接泵头罩的每根连接管，有两个 O 圈 P-10 。 ３） 请换上涂抹了真空润滑油的新 O 圈。 ４） 固定泵头罩用的 M5 × 20 ，以 5…
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10-7
○更换准备
１） 请确认真空泵没有运行。
※ 真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
２） 请拆下主体正面的外罩。
３） 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓 (M4×8)拆下来。
４） 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
○ 更换密封垫圈
１） 卸下泵头罩上的 4 根(共 8 根)
六角凹头螺栓 (M5×20)。
３） 固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N・m 対角拧紧。
※确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。
② ③
④
真空泵
①
２） 卸下泵头罩内侧的黑色密封垫圈
(共 2 个)，换上新的密封垫圈。
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10-8
○更换 O 圈 S-67
１） 按更换密封垫圈的要领，卸下泵头罩盘。
２） 把气缸上部的 O 圈 S-67 换上新的。
３） 固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N・m 対角拧紧。
○更换 O 圈 P-10
１） 按更换密封垫圈的要领，卸下泵头板。
２） 连接泵头罩的每根连接管，有两个 O 圈 P-10。
３） 请换上涂抹了真空润滑油的新 O 圈。
４） 固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N・m 对角拧紧。
※在泵头罩上安装连接管时，请确认 O 圈已经涂抹了真空润滑油，插入时，小心不要损伤 O 圈。
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10-9
○ 更换皮碗式密封件、吸气阀防干扰橡胶
１） 卸下 3 根(共 6 本)埋头小螺钉(M4×8)，拆下固定板、吸气阀防干扰橡胶、皮碗式密封件气缸。
※将汽缸上和固定板上的脏污擦干净。
２） 把气缸清扫干净装上盒子，把新的皮碗式密封件中心对准连接杆的皮碗式密封件安装部位中
心，用手将气缸推进去。
３） 把新的吸气阀防干扰橡胶装上固定板后，放在皮碗式密封件上面，
将涂好密封液(NK-4)的(M4×8)，以 3.0N・m 紧固。
※ 请注意皮碗式密封件的方向。
埋
头小螺钉
吸气阀防干
扰橡胶
固定板
皮碗式密封件
（※
8OS）
连接杆