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AV131 维修手册 5.4 基板定 位部 D79MCC-Y 3-400-A0 5.4- 2
AV131
维修手册
5.4 基板定位部
D79MCC-Y3-400-A0
5.4-1
5.4. 基板定位部
D79MCC-Y3-400-A0
5.4.1 定位器 (基准销)
装置编号：
N610061375AA
编号 名称 型号
1.
基板定位完成检测
P921S1
2.
基板存在检测
P921SA1
1.
2.
AV131
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5.4 基板定位部
D79MCC-Y3-400-A0
5.4-2
AV131
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5.5 下部定位
D79MCC-Y4-000-A0
5.5-1
5.5. 下部定位
D79MCC-Y4-000-A0
5.5.1 X-Y 工作台 (X 轴驱动部)
装置编号：
N610055746AA
编号 名称 型号
1.
X 轴 (+) (-) 安全限位检测
LS-11S / RL
2.
X 轴 (-) 超限位检测
P921SA1
3.
X 轴原点检测
P921S1
4.
X 轴 (+) 超限位检测
P921SA1
1.
3.
4.
2.