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AV131 维修手册 7.8 元件供 给部 D79MCC-Z 5-000-A0 7.8- 1 7.8. 元件供给部 D79MC C-Z5- 00 0-A0 7.8. 1 元件供给部 Unit No . N610064467A A / N610060958AA  120 站  60 站 供给架 供给架 2. 凸轮从 动件 a / 1. LM 导轨 b / 3. 滚珠丝杠轴 2. 凸轮从 动件 供给架 a / 1. LM 导轨 2. 凸…

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AV131
维修手册
7.7 作业部搬送方面
D79MCC-Z3-200-A0
7.7-2
7.7.2 基板搬送部
Unit No. N610060945AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
确保传送销爪没有松动。
每周
a.
传送销爪
确保传送销爪没有损坏或变形
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
杆支点
1 2
3 个月
2.
适量 位置: 滑动面
1. 杆支点
a. 传送销
2.
AV131
维修手册
7.8 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8-1
7.8. 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8.1 元件供给部
Unit No. N610064467AA / N610060958AA
120
60
供给架
供给架
2. 凸轮从动件
a / 1. LM 导轨
b / 3. 滚珠丝杠轴
2. 凸轮从动件
供给架
a / 1. LM 导轨
2. 凸轮从动件
b / 3. 滚珠丝杠轴
AV131
维修手册
7.8 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8-2
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
a.
LM 导轨
清除异物或灰尘
每月
b.
滚珠丝杠轴
清除异物或灰尘
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
LM 导轨 (2 )
每个
120
2.0 cm
3
60
1.0 cm
3
位置: 轨道表面
2.
凸轮从动件
120 (12 )
60 (6 )
每个
1.9 cm
3
位置: 滚轮表面
3 个月
3.
滚珠丝杠轴
120
80 cm
3
60
50 cm
3
位置: 滑动面